[实用新型]一种双波长激光干涉仪

权利要求书

1.一种双波长激光干涉仪，其特征在于，包括光源切换部件（101）、第一激光光源（103）、第二激光光源（102）、棱镜（104）、干涉图像分析部件（105）、上干涉镜（106）、样品平台（107）和下干涉镜（108），所述光源切换部件（101）下方连接第一激光光源（103）和第二激光光源（102），并可以带动两个激光光源移动，第一激光光源（103）和第二激光光源（102）平行设置，两个激光光源下方从上至下依序设置棱镜（104）、上干涉镜（106）、样品平台（107）和下干涉镜（108），干涉图像分析部件（105）平行设于棱镜（104）出光一侧。

2.根据权利要求1所述的双波长激光干涉仪，其特征在于，所述下干涉镜（108）下方还设有辅助对孔光源（109）。

3.根据权利要求2所述的双波长激光干涉仪，其特征在于，所述辅助对孔光源（109）选自白光LED或卤钨灯，光源开关由软件控制。

4.根据权利要求1所述的双波长激光干涉仪，其特征在于，所述干涉图像分析部件（105）能够捕获从棱镜（104）发射出的图像，并进行干涉图像分析。

5.根据权利要求1所述的双波长激光干涉仪，其特征在于，所述第一激光光源（103）和第二激光光源（102）均为发射单一光的激光器。

6.根据权利要求5所述的双波长激光干涉仪，其特征在于，所述第一激光光源（103）选自635nm半导体激光器，第二激光光源（102）选自940nm半导体激光器。

7.根据权利要求1所述的双波长激光干涉仪，其特征在于，所述棱镜（104）为具有半透效果的分光镜或棱镜。

8.根据权利要求1所述的双波长激光干涉仪，其特征在于，所述干涉图像分析部件（105）为相机。

9.根据权利要求8所述的双波长激光干涉仪，其特征在于，所述相机选自CCD或CMOS相机。