[实用新型]一种探针卡测试用大载荷高精度电动Z轴位移台

说明书

本实用新型公开了一种探针卡测试用高精度电动Z轴位移台，其包括置物平台、位于置物平台下方且上端开口的缸体、位于缸体下端的固定台、位于缸体内部的升降块、固定于升降块下端的丝杆、连接于所述丝杆下端的联轴器、行星减速机及伺服电机；所述升降块的上端与所述置物平台连接，所述缸体的侧端设有光栅传感器，所述光栅传感器包括光限位固定杆、光电限位开关、光栅标尺及光栅读数头，所述光栅读数头可沿光限位固定杆滑动，所述光栅读数头与所述置物平台的侧端通过连接杆连接。本实用新型应用于探针卡检测过程中，操作方便，重复定位精度高，提高探针卡的检测效率。

技术领域

本实用新型涉及探针卡生产检测设备，尤其涉及一种探针卡测试用高精度电动Z轴位移台。

背景技术

探针卡是一种测试接口，主要对裸芯进行测试，通过连接测试机和芯片，通过传输信号对芯片参数进行测试。垂直探针卡生产中进行测试时需要将探针卡放置在Z轴位移台上，通过上下重复定位进行检测。常使用的Z轴位移台，使用线性轴承导轨，伺服电机和蜗杆通过弹性联轴节连接。现有的Z轴位移台线性导轨重复定位精度较差，载荷能力较弱，容易产生偏载摆动。

实用新型内容

针对上述现有技术，本实用新型要解决的技术问题是提供一种探针卡测试用高精度电动Z轴位移台，其结构简单，操作方便，重复定位精度高。

为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：

一种探针卡测试用高精度电动Z轴位移台，其包括置物平台、位于置物平台下方且上端开口的缸体、位于缸体下端的固定台、位于缸体内部的升降块、固定于升降块下端的丝杆、连接于所述丝杆下端的联轴器、行星减速机及伺服电机；所述升降块的上端与所述置物平台连接，所述缸体的侧端设有光栅传感器，所述光栅传感器包括光限位固定杆、光电限位开关、光栅标尺及光栅读数头，所述光栅读数头可沿光限位固定杆滑动，所述光栅读数头与所述置物平台的侧端通过连接杆连接。

将升降块、丝杆等升降组件置于缸体内部，可以有效防止升降导轨表面沾染灰尘，增强机械结构的可靠性，提高升降定位的精确度及稳定性。位移台上下移动时，伺服电机提供动力，通过行星减速机、联轴器、丝杆进行传动，推动升降块及置物平台移动，光栅传感器可以实时测量置物平台位移，并将信号传送至伺服电机进行补偿修正，大大提高位移台的重复定位精度。

进一步，所述升降块的侧端设有直角滚针轴承，所述直角滚针轴承嵌入所述升降块的侧端，所述直角滚针轴承与所述缸体的侧壁接触。升降块通过直角滚针轴承沿缸体的侧壁上下滑动，防止置物平台重载时出现偏载摆动，从而影响定位的精度。

进一步，所述缸体的上端两侧设有限位块，限位块可以对直角滚针轴承进行上移限位，防止滚针轴承移出缸体。

与现有技术相比，本实用新型提供的电动Z轴位移台具有以下有益效果：

(1)缸体内置升降导轨，升降块在丝杆传动驱动下，通过直角滚针在缸体内移动实现置物平台升降，设备结构稳定，荷载能力增强，偏载不摆动，导轨不易沾灰，定位精度高，使用寿命长；

(2)通过光栅尺及伺服电机联动，对位移传动数据进行采集，实现闭环补偿，提高位移台的重复定位精度。

附图说明

图1是本实用新型的正视结构示意图；

图2是本实用新型的右视结构示意图；

图3是图2中A部位的放大结构示意图；

图4是本实用新型沿图2中B-B剖面结构示意图；

图5是图4中C部位的放大结构示意图；