[实用新型]一种废渣回收装置

说明书

本实用新型提供了一种废渣回收装置，所述的废渣回收装置包括废料槽，所述的废料槽内纵向设置隔板，所述隔板将废料槽分为顶部连通的沉淀池和溢流池，废水液位超过隔板上缘后溢流进入溢流池；所述的沉淀池内设置至少一层锥形结构过滤网，所述的过滤网的锥角尖端外接排渣管路，过滤组件截留的固体微粒在锥角聚积后经由排渣管路排出收集。本实用新型通过设置沉淀池和溢流池实现了废水的二次沉降分离，在沉淀池内部设置锥形结构过滤网实现了不同粒径尺寸的固体微粒的分级分离。装置结构简单，操作简便，可以方便的解决研磨废液的排放和废渣回收的问题。

技术领域

本实用新型属于废渣回收技术领域，涉及一种废渣回收装置，尤其涉及一种用于处理硅片研磨过程中产生的研磨废液的废渣回收装置。

背景技术

在IC制造的前道工序中，需要将硅单晶棒切割成硅片。硅片切割后，表面会残留切割线痕和微裂纹，损伤层可达10～50μm，通常采用双面研磨工艺来消除线痕，减小损伤层深度和改善面型精度。双面研磨产生的废液中含有大量的固体微粒，包括有磨料、硅颗粒、磨盘研磨下来的金属微粒等，如果直接排入废水管中很容易造成堵塞。

CN203954862U公开了一种农村生活污水处理装置，它包括溢流池、沉淀池、排出口，所述溢流池旁边设置有沉淀池，沉淀池中间用一个挡板隔开，所述挡板比沉淀池壁矮，沉淀池远离溢流池一侧开有排出口，排出口比挡板的位置低，所述溢流池与沉淀池相连的池壁上方设置有漏网。

CN207227188U公开了一种建筑用污水处理装置，包括砂石池、过滤池、沉淀池、溢流池和消毒箱，所述砂石池、过滤池、沉淀池和溢流池依次连续布置，过滤池内设有用于导入污水的进水管，过滤池内安装有倾斜的滤网，且滤网的最底端位置处与砂石池连通；所述过滤池和沉淀池通过抽水管连接，抽水管上还安装有水泵一，抽水管还与用于向污水投入絮凝剂的加药管连接，所述沉淀池的底部设有多个截面为等腰梯形的污泥斗，每个所述污泥斗内均固定有用于排泥的排泥支管，多个排泥支管均与排泥干管连接，沉淀池与溢流池之间以隔墙隔开，隔墙的上部设有等高的多个溢流孔，溢流孔的设计使得沉淀池内的上层清水能溢流至溢流池内，溢流池通过出水管与用于进行消毒的消毒箱连接，出水管上安装有水泵二，水泵二和水泵一均与电源和控制开关连接。

综合来看，目前现有的废水处理设备一方面结构较为复杂，投资成本较高，另一方面，回收效果和过滤效果不理想。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种废渣回收装置，本实用新型通过设置沉淀池和溢流池实现了废水的二次沉降分离，在沉淀池内部设置锥形结构过滤网实现了不同粒径尺寸的固体微粒的分级分离。装置结构简单，操作简便，可以方便的解决研磨废液的排放和废渣回收的问题。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供了一种废渣回收装置，所述的废渣回收装置包括废料槽，所述的废料槽内纵向设置隔板，所述隔板将废料槽分为顶部连通的沉淀池和溢流池，废水液位超过隔板上缘后溢流进入溢流池；

所述的沉淀池内设置至少一层锥形结构过滤网，所述的过滤网的锥角尖端外接排渣管路，过滤组件截留的固体微粒在锥角聚积后经由排渣管路排出收集。本实用新型通过设置沉淀池和溢流池实现了废水的二次沉降分离，在沉淀池内部设置锥形结构过滤网实现了不同粒径尺寸的固体微粒的分级分离。装置结构简单，操作简便，可以方便的解决研磨废液的排放和废渣回收的问题。

需要说明的是，本实用新型设计该废渣回收装置的主要目的在于过滤硅片研磨过程中产生的研磨废液并回收废液中的固体微粒，但并不意味着限定了该废渣回收装置的应用场景，其他有回收废渣的使用需求的任何使用场景均可采用本实用新型提供的废渣回收装置。

作为本实用新型一种优选的技术方案，所述的沉淀池内设置一层倒锥形结构的过滤网。

作为本实用新型一种优选的技术方案，所述的沉淀池顶部开设进液口。