[实用新型]还原炉底盘结构有效
| 申请号: | 201922284771.9 | 申请日: | 2019-12-18 |
| 公开(公告)号: | CN212504015U | 公开(公告)日: | 2021-02-09 |
| 发明(设计)人: | 彭建涛;汤晓英;薛小龙;茅陆荣;陈宏伟;杜彦楠 | 申请(专利权)人: | 上海市特种设备监督检验技术研究院;上海森松新能源设备有限公司 |
| 主分类号: | C01B33/021 | 分类号: | C01B33/021 |
| 代理公司: | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人: | 刘燕武 |
| 地址: | 200062 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 还原 底盘 结构 | ||
1.一种还原炉底盘结构,其特征在于,包括底盘主体(1)、从内到外依次布置在底盘主体(1)上的若干组硅棒(2),以及布置在底盘主体(1)上的进气口(3)和出气口(4),每组硅棒(2)由多对硅棒(2)围成一个同心圆,任意相邻两组硅棒之间的间距相等,并记为SA,同一组硅棒(2)中,任意一对硅棒(2)的两个硅棒(2)的间距记为SB,分别处于不同对硅棒(2)的任意相邻两个硅棒(2)的间距记为SC,各组硅棒(2)的SA均相等,各组硅棒(2)的SB值也相等,且SB≤SC,SB<SA。
2.根据权利要求1所述的一种还原炉底盘结构,其特征在于,SB与SA的差值为5mm~60mm。
3.根据权利要求1所述的一种还原炉底盘结构,其特征在于,不同组硅棒(2)中的SC值不相等,且不等于SB。
4.根据权利要求1所述的一种还原炉底盘结构,其特征在于,不同组硅棒中,位于最外侧的一组硅棒的Sc值与最内侧的一组硅棒的Sc值小于其余中间组的Sc值。
5.根据权利要求1所述的一种还原炉底盘结构,其特征在于,不同组硅棒中,位于最外侧的一组硅棒的Sc值与最内侧的一组硅棒的Sc值等于SB。
6.根据权利要求1所述的一种还原炉底盘结构,其特征在于,相邻两组硅棒(2)之间还等间距布置有呈同心圆形式均布的多个进气口(3)。
7.根据权利要求6所述的一种还原炉底盘结构,其特征在于,所述的进气口在每一同心圆上的数量等于其同心圆内与之最近的一组硅棒的对数。
8.根据权利要求1所述的一种还原炉底盘结构,其特征在于,位于底盘主体(1)最外侧的一组硅棒(2)的外侧还等间距布置有呈同心圆形式均布的多个出气口(4)。
9.根据权利要求1所述的一种还原炉底盘结构,其特征在于,所述的硅棒(2)设有四组或四组以上。
10.根据权利要求9所述的一种还原炉底盘结构,其特征在于,所述的硅棒(2)设有5组。
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