[实用新型]一种射频二氧化碳激光器用平板电极

说明书

本实用新型公开了一种射频二氧化碳激光器用平板电极，包括平板电极，所述平板电极上且相对应放电面的面上设有第一冷却槽，且第一冷却槽与平板电极边沿处之间设有封闭环形的第一凹槽，所述平板电极嵌设于底座顶面的定位槽内。该射频二氧化碳激光器用平板电极通过在平板电极的不用于放电的一面设置第一冷却槽和第一凹槽，安装时将平板电极嵌入底座的定位槽内，使得第一冷却槽和第二冷却槽构成完整的冷却流道，且将冷却流道设为S形结构，增加冷却液与平板电极之间的接触面积，并且第二冷却槽的端部与位于底座两端处的冷却液连接管连通，实现冷却液的循环流动，同时第一凹槽和第二凹槽配合构成密封槽，并通过密封槽内部的密封圈实现防渗漏功能。

技术领域

本实用新型涉及平板电极技术领域，具体是一种射频二氧化碳激光器用平板电极。

背景技术

射频二氧化碳激光器在运行时，激光的激励与放大主要发生在激光谐振腔中，一般谐振腔中会设置两块互相平行的平板电极，并在谐振腔中充入激光工作气体，激光器工作运行时两块平板电机之间放电激励工作气体生成激光，随着运行时间延长，不断放电的平板电极和工作气体都会持续升温，温度升高会对激光器的运行非常不利，会降低激光输出功率。

现有的散热方式是采用水冷，通过在平板电极上打孔形成井字形通道，构成水冷通道，但这种方式加工困难，由于平板电极较薄，容易导致电极被钻穿而报废。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种射频二氧化碳激光器用平板电极，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种射频二氧化碳激光器用平板电极，包括平板电极，所述平板电极上且相对应放电面的面上设有第一冷却槽，且第一冷却槽与平板电极边沿处之间设有封闭环形的第一凹槽，所述平板电极嵌设于底座顶面的定位槽内，且定位槽的底面上分别设有与第一冷却槽和第一凹槽匹配的第二冷却槽和第二凹槽，所述第一冷却槽和第二冷却槽构成冷却腔道，所述第二冷却槽的两端与底座两端处的冷却液连接管连通，所述第一凹槽和第二凹槽构成的密封槽内部设有密封圈。

作为本实用新型进一步的方案：

所述第一冷却槽和第二冷却槽的横截面均为半圆形且半径相同，所述第一冷却槽和第二冷却槽均为S形结构。

作为本实用新型再进一步的方案：

所述平板电极与定位槽配合，所述平板电极的端面上设有凹陷，所述凹陷与定位槽内壁上对应的凸起配合，所述定位槽的深度小于平板电极的厚度。

作为本实用新型进一步的方案：

所述底座的两侧均设有连接块，所述底座通过连接块与谐振腔体连接固定。

作为本实用新型再进一步的方案：

所述底座为不导电材质，所述冷却液连接管通过螺纹结构与底座连接，且冷却液连接管的内径与第一冷却槽的直径相同。

作为本实用新型进一步的方案：

所述冷却液连接管与外部管道连接部部分的外壁上设有多个凸环。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型中，通过在平板电极的不用于放电的一面设置第一冷却槽和第一凹槽，安装时将平板电极嵌入底座的定位槽内，使得第一冷却槽和第二冷却槽构成完整的冷却流道，且将冷却流道设为S形结构，增加冷却液与平板电极之间的接触面积，并且第二冷却槽的端部与位于底座两端处的冷却液连接管连通，实现冷却液的循环流动，同时第一凹槽和第二凹槽配合构成密封槽，并通过密封槽内部的密封圈实现防渗漏功能。