[实用新型]一种射频二氧化碳激光器用平板电极有效
| 申请号： | 201922271609.3 | 申请日： | 2019-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN211063036U | 公开（公告）日： | 2020-07-21 |
| 发明（设计）人： | 石暴 | 申请（专利权）人： | 江苏启辰激光科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/041 | 分类号： | H01S3/041;H01S3/038 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 223900 江苏省宿*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 射频 二氧化碳 激光 器用 平板 电极 | ||
1.一种射频二氧化碳激光器用平板电极，包括平板电极（1），其特征在于：所述平板电极（1）上且相对应放电面的面上设有第一冷却槽（2），且第一冷却槽（2）与平板电极（1）边沿处之间设有封闭环形的第一凹槽（3），所述平板电极（1）嵌设于底座（4）顶面的定位槽（5）内，且定位槽（5）的底面上分别设有与第一冷却槽（2）和第一凹槽（3）匹配的第二冷却槽（6）和第二凹槽（7），所述第一冷却槽（2）和第二冷却槽（6）构成冷却腔道，所述第二冷却槽（6）的两端与底座（4）两端处的冷却液连接管（8）连通，所述第一凹槽（3）和第二凹槽（7）构成的密封槽内部设有密封圈（9）。
2.根据权利要求1所述的射频二氧化碳激光器用平板电极，其特征在于：所述第一冷却槽（2）和第二冷却槽（6）的横截面均为半圆形且半径相同，所述第一冷却槽（2）和第二冷却槽（6）均为S形结构。
3.根据权利要求1所述的射频二氧化碳激光器用平板电极，其特征在于：所述平板电极（1）与定位槽（5）配合，所述平板电极（1）的端面上设有凹陷（10），所述凹陷（10）与定位槽（5）内壁上对应的凸起（11）配合，所述定位槽（5）的深度小于平板电极（1）的厚度。
4.根据权利要求1所述的射频二氧化碳激光器用平板电极，其特征在于：所述底座（4）的两侧均设有连接块（12），所述底座（4）通过连接块（12）与谐振腔体连接固定。
5.根据权利要求1所述的射频二氧化碳激光器用平板电极，其特征在于：所述底座（4）为不导电材质，所述冷却液连接管（8）通过螺纹结构与底座（4）连接，且冷却液连接管（8）的内径与第一冷却槽（2）的直径相同。
6.根据权利要求5所述的射频二氧化碳激光器用平板电极，其特征在于：所述冷却液连接管（8）与外部管道连接部部分的外壁上设有多个凸环（13）。
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