[实用新型]一种立式炉管清洗机

说明书

本申请涉及一种立式炉管清洗机，支撑板固定支撑炉管，设置在清洗腔室内的顶部的旋转喷头组件旋转并对炉管喷射清洗液或者清水，通过旋转喷头组件旋转能够在保证清洗效果的同时，无需炉管转动防止因炉管转动而导致的炉管损伤，同时需要设置辅助的转动机构。

技术领域

本申请属于石英炉管清洗技术领域，尤其是涉及一种立式炉管清洗机。

背景技术

随着半导体领域技术的发展，半导体制造商对晶圆的洁净度要求越来越高，与晶圆直接接触的炉管的洁净度的要求也随之提高，传统的卧室炉管清洗设备已经无法满足更高的洁净度的要求。

中国专利文献CN 208853393U公开了一种立式炉管清洗机构，其中的喷管固定，由旋转机构来驱动炉管旋转，进而使炉管表面能够全面地进行清洗，然而，让称重的炉管旋转，一方面，旋转机构需要设计得复杂，另一方面，对炉管的进行旋转，炉管容易受到损伤。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：为解决现有技术中上述的不足，从而提供一种立式炉管清洗机。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种立式炉管清洗机，包括：

外壳，所述外壳上设置有操作门，所述外壳内部由隔板分割成位于操作门一侧的清洗腔室和位于远离操作门一侧的设备容纳腔室；

废液槽，设置在清洗腔室底部，所述废液槽内设置有具有过滤孔的过滤板，所述废液槽顶部设置有支撑板；

旋转喷头组件，设置在清洗腔室内的顶部，由设置在外壳顶部的电机驱动而发生旋转；

清洗液储存槽和清水储存槽，设置于设备容纳腔室底部，清洗液储存槽内可以储存酸性清洗液或者碱性清洗液，清水储存槽内储存清水；清洗液储存槽和清水储存槽通过管道与旋转喷头组件连接，并给旋转喷头组件供给清洗液或者清水。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗机，旋转喷头组件包括水平管和设置在水平管上的若干竖直管。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗机，所述竖直管从中心向外依次为第一竖直管、第二竖直管和第三竖直管，且长度依次增加。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗机，所述竖直管的末端设置有万向喷头。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗机，所述支撑板通过铰链与废液槽顶部连接。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗机，所述支撑板为方形，具有位于中心的圆形固定板，连接所述支撑板四个顶角与圆形固定板的对角线固定板，连接所述支撑板四边中心与圆形固定板的中线固定板，连接所述支撑板四边中相邻两条边的中心的中心线固定板，所述对角线固定板上设置有固定块。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗机，所述固定块设置在沿所述对角线固定板布置的滑轨上，通过拧紧螺钉能够将所述固定块固定在滑轨上。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗机，清洗腔室一侧还设置有竖直喷头组件，所述竖直喷头组件包括两条竖直布置的竖直喷管，两条竖直喷管之间设置有固定块，被清洗的炉管附属部件放置在两条竖直布置的竖直喷管之间。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗机，两条竖直喷管上的喷头在竖直方向上错位布置，且两条竖直布置的竖直喷管上的喷头的朝向相反，其中一个竖直喷管上的喷头倾斜朝下，另一个竖直喷管上的喷头倾斜朝上，所述清洗腔室的侧壁上还设置有容纳仓，用于容纳无需清洗的热电偶接线盒，热电偶的热电极从容纳仓底部的孔中穿出而固定到两条竖直喷管之间。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗机，所述旋转喷头组件还与氮气管道连接，氮气管道用于为旋转喷头组件供给氮气，使旋转喷头组件能够喷吹氮气。

本实用新型的有益效果是：