[实用新型]立式炉管清洗机废液收集机构

说明书

本申请涉及一种立式炉管清洗机废液收集机构，设置在立式炉管清洗机的清洗工位底部，用于固定炉管并承接来自清洗喷管喷出的清洗废液，所述支撑板设置为方形，具有位于中心的圆形固定板，连接所述支撑板四个顶角与圆形固定板的对角线固定板，连接所述支撑板四边中心与圆形固定板的中线固定板，连接所述支撑板四边中相邻两条边的中心的中心线固定板，每个所述对角线固定板上设置有固定块。通过上述设置在能保证支撑板具有较强的结构强度以支撑炉管的同时，尽可能扩大了镂空的区域，防止顶部漏下的清洗液滴落到支撑板而发生溅起的可能，提高了清洗效果。

技术领域

本申请属于炉管清洗设备技术领域，尤其是涉及一种立式炉管清洗机废液收集机构。

背景技术

随着半导体领域技术的发展，半导体制造商对晶圆的洁净度要求越来越高，与晶圆直接接触的炉管的洁净度的要求也随之提高，传统的卧室炉管清洗设备已经无法满足更高的洁净度的要求。

中国专利文献CN 208853393 U公开了一种立式炉管清洗机构，其中的喷管固定，由旋转机构来驱动炉管旋转，进而使炉管表面能够全面地进行清洗，然而，让称重的炉管旋转，一方面，旋转机构需要设计得复杂，另一方面，对炉管的进行旋转，炉管容易受到损伤。

因此，可以采用不旋转的固定立式炉管清洗机进行清洗，但是对于立式炉管清洗机中炉管的固定就显得尤其重要了。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种立式炉管清洗机废液收集机构。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种立式炉管清洗机废液收集机构，包括：

废液槽，

支撑板，设置在所述废液槽的顶部；

所述支撑板为方形，具有位于中心的圆形固定板，连接所述支撑板四个顶角与圆形固定板的对角线固定板，连接所述支撑板四边中心与圆形固定板的中线固定板，连接所述支撑板四边中相邻两条边的中心的中心线固定板，每个所述对角线固定板上设置有支撑块。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗机废液收集机构，所述固定块设置在沿所述对角线固定板布置的滑轨上。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗机废液收集机构，所述废液槽内侧顶部还设置有喷管，所述喷管能够喷出清洗液以在必要时清洗废液槽。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗机废液收集机构，所述喷管设置在所述废液槽内侧顶部长度方向两侧。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗机废液收集机构，所述喷管通过泵和管道与所述废液槽底部连接。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗机废液收集机构，所述喷管上的喷嘴以30°-60°倾斜朝下。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗机废液收集机构，所述支撑板的一条边通过铰链与废液槽顶部连接，所述废液槽内部上设置有固定块以对所述支撑板上相对的另一条边进行支撑。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗机废液收集机构，所述废液槽内设置有具有过滤孔的过滤板。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗机废液收集机构，所述废液槽四侧的槽壁上设置有溢流口。

优选地，本实用新型的立式炉管清洗机废液收集机构，所述溢流口的底边为齿状。

本实用新型的有益效果是：