[实用新型]一种用于超精密飞切机床的纳米进给组件

权利要求书

1.一种用于超精密飞切机床的纳米进给组件，其特征在于，包括支撑部(2)，所述支撑部(2)由若干柔性铰链(3)组成；

所述柔性铰链(3)用于固定工作平台(1)，所述柔性铰链(3)由微位移驱动器(4)驱动上下移动；

通过各个微位移驱动器(4)驱动对应的柔性铰链(3)上下移动，实现工作平台(1)偏转和/或竖直移动。

2.根据权利要求1所述的用于超精密飞切机床的纳米进给组件，其特征在于，所述柔性铰链(3)设置有四个，四个柔性铰链(3)呈矩形分布。

3.根据权利要求2所述的用于超精密飞切机床的纳米进给组件，其特征在于，所述柔性铰链(3)由两个圆柔铰链组成。

4.根据权利要求2或3所述的用于超精密飞切机床的纳米进给组件，其特征在于，所述四个柔性铰链(3)一体成型。

5.根据权利要求2所述的用于超精密飞切机床的纳米进给组件，其特征在于，所述柔性铰链(3)上端设有支撑凸起(7)，所述支撑凸起(7)用于与工作平台(1)固定连接。

6.根据权利要求5所述的用于超精密飞切机床的纳米进给组件，其特征在于，四个支撑凸起(7)呈正方形分布。

7.根据权利要求1所述的用于超精密飞切机床的纳米进给组件，其特征在于，所述柔性铰链(3)还连接有位移传感器(5)，所述位移传感器(5)用于监测柔性铰链(3)与微位移驱动器(4)连接处的位移。

8.根据权利要求7所述的用于超精密飞切机床的纳米进给组件，其特征在于，所述位移传感器(5)为双极性电容传感器。

9.根据权利要求1所述的用于超精密飞切机床的纳米进给组件，其特征在于，所述微位移驱动器(4)为压电陶瓷驱动器。

10.根据权利要求1所述的用于超精密飞切机床的纳米进给组件，其特征在于，还包括工作平台(1)，所述工作平台(1)工作面阵列有若干吸附孔(8)。