[实用新型]一种派瑞林镀膜系统

权利要求书

1.一种派瑞林镀膜系统，其特征在于，包括：

依次连通的预热料仓、定量给料结构、加热仓、裂解仓、沉积仓、低温冷阱与真空泵组；

膜厚探测装置，所述膜厚探测装置设置在所述沉积仓处；

其中，定量给料结构包括第一控制阀，所述第一控制阀用于切断或连通加热仓与预热料仓；

所述预热料仓通过支管与所述裂解仓连通，所述支管上设有第二控制阀；

所述加热仓处设置第一温度传感器；

所述裂解仓处设置第二温度传感器；

所述沉积仓处设置第一压力真空检测仪；

所述真空泵组处设置第二压力真空检测仪

控制器，所述控制器分别与所述定量给料结构、膜厚探测装置、第一温度传感器、第二温度传感器、第一压力真空检测仪、第二压力真空检测仪、低温冷阱与真空泵组通讯连接。

2.根据权利要求1所述的派瑞林镀膜系统，其特征在于：

所述定量给料结构包括料管、设置在所述料管内的螺旋杆以及带动所述螺旋杆绕自身轴线转动的驱动装置，所述驱动装置与所述控制器通讯连接；

所述螺旋杆的轴线与料管的轴线重合。

3.根据权利要求2所述的派瑞林镀膜系统，其特征在于：

所述螺旋杆的轴线垂直于所述加热仓所在平面设置。

4.根据权利要求2所述的派瑞林镀膜系统，其特征在于：

所述螺旋杆的轴线与所述加热仓所在平面的夹角呈30°～60°。

5.根据权利要求1所述的派瑞林镀膜系统，其特征在于：

所述支管与预热料仓的顶部连通。

6.根据权利要求1所述的派瑞林镀膜系统，其特征在于：

所述第一压力真空检测仪设置在所述沉积仓的侧壁上。

7.根据权利要求1所述的派瑞林镀膜系统，其特征在于：

所述膜厚探测装置包括膜厚探测仪与检测玻璃片，所述膜厚探测仪设置在所述沉积仓的顶部，且所述沉积仓的顶部对应所述膜厚探测仪处开设有透视孔，所述透视孔处密封设置有透明玻璃片，所述检测玻璃片设置在所述沉积仓的内部，且所述检测玻璃片位于所述膜厚探测仪的下方。

8.根据权利要求1所述的派瑞林镀膜系统，其特征在于：

所述第一控制阀与第二控制阀均为球阀。

9.根据权利要求1所述的派瑞林镀膜系统，其特征在于：

所述预热料仓上开设有加料口，所述加料口处转动设置有加料门，所述加料门处设有密封环；

当所述加料门盖合在所述加料口上时，所述密封环位于所述加料门与加料口之间。

10.根据权利要求1所述的派瑞林镀膜系统，其特征在于：

所述预热料仓的外壁包覆有加热片，所述加热片连接加热丝，所述加热丝通电对所述加热片进行加热。