[实用新型]一种用音圈电机驱动的多轴调整平台

说明书

本实用新型涉及一种用音圈电机驱动的多轴调整平台，包括底板以及用于放置工件的负载板，底板与负载板之间四角位置处设有运动机构一、运动机构二、运动机构三和运动机构四，运动机构一包括音圈电机一、旋转机构一、X向直线运动机构一、Y向直线运动机构一，运动机构二包括音圈电机二、旋转机构二、X向直线运动机构二、Y向直线运动机构二，运动机构三包括音圈电机三、旋转机构三、X向直线运动机构三、Y向直线运动机构三，运动机构四包括旋转机构四、X向直线运动机构四、Y向直线运动机构四，音圈电机一、音圈电机二、音圈电机三均安装在底板上；本实用新型去除现有技术联轴器、丝杆等多级传动，消除了现有技术多级传动带来的间隙和误差问题。

[技术领域]

本实用新型涉及多轴调整平台技术领域，具体地说是一种用音圈电机驱动的多轴调整平台。

[背景技术]

目前，现有的多轴运动调整平台一般采用步进电机或者伺服电机控制，如附图1所示，电机通过联轴器连接滚珠丝杆，动力从马达传达给联轴器，联轴器传达给滚珠丝杆，滚珠丝杆带动螺母前后运动，通过电机的运动，使平台根据指令进行平面内的位置调整。该结构存在以下不足之处：

(1)马达、联轴器、丝杆本身有间隙或者误差，这种间隙或者误差会导致马达行走的位移在传递给运动台的时候会有位移损失，导致整个工作台产生精度损失；

(2)使用步进电机或者伺服电机这种开环或半闭环的反馈方式，会因为机械传动件的间隙或者误差，导致整个工作台产生精度损失；

(3)多级传动的机械结构在长时间的运动中，会造成机械件的磨损，从而使工作台的精度降低。

[实用新型内容]

本实用新型的目的就是要解决上述的不足而提供一种用音圈电机驱动的多轴调整平台，能够去除现有技术中联轴器、丝杆等多级传动，从而消除了现有技术多级传动带来的间隙和误差问题，减小了机械结构带来的精度损失。

为实现上述目的设计一种用音圈电机驱动的多轴调整平台，包括用于安装固定的底板1以及设于底板1上方用于放置工件的负载板2，所述底板1与负载板2之间四角位置处设有运动机构一、运动机构二、运动机构三和运动机构四，所述运动机构一包括音圈电机一3、旋转机构一6、X向直线运动机构一7、Y向直线运动机构一，所述运动机构二包括音圈电机二4、旋转机构二8、X向直线运动机构二9、Y向直线运动机构二10，所述运动机构三包括音圈电机三5、旋转机构三11、X向直线运动机构三12、Y向直线运动机构三13，所述运动机构四包括旋转机构四、X向直线运动机构四14、Y向直线运动机构四15，所述音圈电机一3、音圈电机二4、音圈电机三5均安装在底板1上，所述音圈电机一3、音圈电机二4、音圈电机三5分别连接Y向直线运动机构一、X向直线运动机构二9、旋转机构三11，并分别驱动其做Y向直线运动、X向直线运动、旋转运动，所述负载板2在Y向直线运动机构一、X向直线运动机构二9、旋转机构三11的带动下做Y向直线运动、X向直线运动、旋转运动。

进一步地，所述音圈电机一3、音圈电机二4、音圈电机三5均包括音圈电机定子和音圈电机动子，所述音圈电机定子固定于底板1上，所述音圈电机动子分别连接Y向直线运动机构一、X向直线运动机构二9、旋转机构三11。

进一步地，所述X向直线运动机构一7、X向直线运动机构二9、X向直线运动机构三12分别通过X向导轨副连接在底板1上，并沿X向导轨副做X向直线运动，所述Y向直线运动机构一、Y向直线运动机构二10、Y向直线运动机构三13分别通过Y向导轨副连接在X向直线运动机构一7、X向直线运动机构二9、X向直线运动机构三12上，并沿Y向导轨副做Y向直线运动，所述旋转机构一6、旋转机构二8、旋转机构三11分别连接在Y向直线运动机构一、Y向直线运动机构二10、Y向直线运动机构三13上。

进一步地，所述运动机构一、运动机构二、运动机构三上均设置有反馈部件，所述反馈部件用于反馈X向直线运动机构一7、X向直线运动机构二9、X向直线运动机构三12的位置信息。