[实用新型]一种用音圈电机驱动的多轴调整平台

权利要求书

1.一种用音圈电机驱动的多轴调整平台，其特征在于：包括用于安装固定的底板(1)以及设于底板(1)上方用于放置工件的负载板(2)，所述底板(1)与负载板(2)之间四角位置处设有运动机构一、运动机构二、运动机构三和运动机构四，所述运动机构一包括音圈电机一(3)、旋转机构一(6)、X向直线运动机构一(7)、Y向直线运动机构一，所述运动机构二包括音圈电机二(4)、旋转机构二(8)、X向直线运动机构二(9)、Y向直线运动机构二(10)，所述运动机构三包括音圈电机三(5)、旋转机构三(11)、X向直线运动机构三(12)、Y向直线运动机构三(13)，所述运动机构四包括旋转机构四、X向直线运动机构四(14)、Y向直线运动机构四(15)，所述音圈电机一(3)、音圈电机二(4)、音圈电机三(5)均安装在底板(1)上，所述音圈电机一(3)、音圈电机二(4)、音圈电机三(5)分别连接Y向直线运动机构一、X向直线运动机构二(9)、旋转机构三(11)，并分别驱动其做Y向直线运动、X向直线运动、旋转运动，所述负载板(2)在Y向直线运动机构一、X向直线运动机构二(9)、旋转机构三(11)的带动下做Y向直线运动、X向直线运动、旋转运动。

2.如权利要求1所述的用音圈电机驱动的多轴调整平台，其特征在于：所述音圈电机一(3)、音圈电机二(4)、音圈电机三(5)均包括音圈电机定子和音圈电机动子，所述音圈电机定子固定于底板(1)上，所述音圈电机动子分别连接Y向直线运动机构一、X向直线运动机构二(9)、旋转机构三(11)。

3.如权利要求2所述的用音圈电机驱动的多轴调整平台，其特征在于：所述X向直线运动机构一(7)、X向直线运动机构二(9)、X向直线运动机构三(12)分别通过X向导轨副连接在底板(1)上，并沿X向导轨副做X向直线运动，所述Y向直线运动机构一、Y向直线运动机构二(10)、Y向直线运动机构三(13)分别通过Y向导轨副连接在X向直线运动机构一(7)、X向直线运动机构二(9)、X向直线运动机构三(12)上，并沿Y向导轨副做Y向直线运动，所述旋转机构一(6)、旋转机构二(8)、旋转机构三(11)分别连接在Y向直线运动机构一、Y向直线运动机构二(10)、Y向直线运动机构三(13)上。

4.如权利要求1、2或3所述的用音圈电机驱动的多轴调整平台，其特征在于：所述运动机构一、运动机构二、运动机构三上均设置有反馈部件，所述反馈部件分别用于反馈X向直线运动机构一(7)、X向直线运动机构二(9)、X向直线运动机构三(12)的位置信息。