[实用新型]一种能够提高硅粉使用效率的三氯氢硅反应炉有效
| 申请号： | 201922198132.0 | 申请日： | 2019-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN211111078U | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 孙亮 | 申请（专利权）人： | 唐山三孚硅业股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 石家庄冀科专利商标事务所有限公司 13108 | 代理人： | 李桂芳 |
| 地址： | 063305 河北省唐山*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 能够 提高 使用 效率 三氯氢硅 反应炉 | ||
【权利要求书】：
1.一种能够提高硅粉使用效率的三氯氢硅反应炉，其特征在于：它包括炉体（1）、炉体上封头（2）、炉体下封头（3）、气体分布器（6）、螺旋折流板（7）、换热管（8），炉体（1）为圆筒体，炉体（1）的圆筒体有锥度，炉体（1）的上部直径大于炉体（1）的下部直径，炉体上封头（2）和炉体下封头（3）分别安装在炉体（1）的上端和下端，炉体下封头（3）一侧有气体进气口（4），炉体上封头（2）的顶部有气体出气口（5），气体分布器（6）和螺旋折流板（7）分别安装在炉体（1）内，气体分布器（6）位于炉体下封头（3）与炉体（1）连接处上方，螺旋折流板（7）位于炉体（1）与炉体上封头（2）连接处的下方，换热管（8）环绕安装在炉体（1）外壁上。
2.根据权利要求1所述的能够提高硅粉使用效率的三氯氢硅反应炉，其特征在于：所述炉体（1）的圆筒体的锥度为8-15度，炉体下封头（3）的气体进气口（4）与氯化氢气体管道相连接，炉体上封头（2）的气体出气口（5）与氯硅烷气体管道相连接。
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