[实用新型]键合丝生产用防二次氧化装置有效
| 申请号： | 201922178831.9 | 申请日： | 2019-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN210916158U | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 李军;朱小良 | 申请（专利权）人： | 江苏金蚕电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C21D1/26 | 分类号： | C21D1/26;C21D1/74;C21D9/56 |
| 代理公司： | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 任益 |
| 地址： | 214028 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 键合丝 生产 二次 氧化 装置 | ||
【权利要求书】：
1.键合丝生产用防二次氧化装置，其特征在于：包括设置在退火炉出口处的玻璃管（1）和用于向玻璃管内提供惰性气体的惰性气体箱（4），玻璃管（1）的进气管（5）连接在惰性气体箱（4）的出气端，玻璃管（1）的出气管（6）连接在惰性气体箱（4）的进气端；所述玻璃管（1）的两端开设有用于穿过键合丝（3）的通孔；所述进气管（5）上设置有用于调节进入玻璃管（1）内惰性气体压力的调压表（2）和用于调节进入玻璃管（1）内惰性气体流量的流量计（7）。
2.根据权利要求1所述的键合丝生产用防二次氧化装置，其特征在于：所述玻璃管（1）为石英玻璃管。
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