[实用新型]一种在线监测双玻漏光装置有效
申请号: | 201922137863.4 | 申请日: | 2019-12-03 |
公开(公告)号: | CN211208392U | 公开(公告)日: | 2020-08-07 |
发明(设计)人: | 廉佳林;董皓;王平;李浩楠 | 申请(专利权)人: | 山西潞安太阳能科技有限责任公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L21/687 |
代理公司: | 太原市科瑞达专利代理有限公司 14101 | 代理人: | 李富元 |
地址: | 046000 山*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 在线 监测 漏光 装置 | ||
1.一种在线监测双玻漏光装置,其特征在于:包括箱体(6)、传送带(7),箱体(6)的两侧分别有传送带(7)的进出口,传送带(7)从箱体(6)的进出口穿过,箱体(6)的顶部安装有第一液压缸(4),第一液压缸(4)的伸缩臂上安装有彩色冷光源发生装置,箱体(6)的底部安装有第二液压缸(11),第二液压缸(11)的伸缩臂上安装有镜检装置,箱体(6)中还安装有用于测量双玻组件(2)位置的红外距离测量装置(13)和喷涂标记的喷漆枪(1),第一液压缸(4)、第二液压缸(11)、红外距离测量装置(13)、喷漆枪(1)、传送带(7)的动力装置、彩色冷光源发生装置、镜检装置电信号连接PLC。
2.根据权利要求1所述的一种在线监测双玻漏光装置,其特征在于:彩色冷光源发生装置包括n形腔体(3),n形腔体(3)中安装有冷光光源(5)和彩色玻璃片(12),彩色玻璃片(12)处于冷光光源(5)的外侧。
3.根据权利要求1所述的一种在线监测双玻漏光装置,其特征在于:镜检装置包括u形腔体(9),u形腔体(9)内部安装有镜检相机(10)。
4.根据权利要求1所述的一种在线监测双玻漏光装置,其特征在于:传送带(7)由两列完全相同且以中央垂直平面为对称中心的滚轴阵列(14)和处于每列滚轴阵列(14)下方的固定板(15)构成,每列滚轴阵列(14)有多根滚轴构成,每根滚轴都包括两端带两个台阶的柱状的轴身(17)、安装在轴身(17)两端的轴承(16)、安装在轴身(17)一端的传动齿轮(18),每根滚轴的传动齿轮(18)都和与之相邻的滚轴的传动齿轮(18)啮合,轴承(16)的外圈都固定在处于滚轴阵列(14)下方的固定板(15)上,轴身(17)、传动齿轮(18)都不于固定板(15)接触。
5.根据权利要求1所述的一种在线监测双玻漏光装置,其特征在于:处于每列滚轴阵列(14)的两端的滚轴的一端与电机(19)的输出轴固定连接在一起,控制电机(19)开启与关闭的电磁阀电信号连接PLC。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造