[实用新型]一种利用干涉原理完成激光波长测量的装置

说明书

本实用新型涉及一种利用干涉原理完成激光波长测量的装置，包括待测激光源、分光镜、反光镜、第一平面反射镜、第二平面反射镜、透镜、光电探测器、处理器，待测激光源向分光镜发射待测激光束，分光镜将待测激光束反射/透射至反光镜，以及将待测激光束透射/反射至第二平面反射镜，反光镜将接收到的待测激光束反射至第一平面反射镜；第一平面反射镜将接收到的待测激光束反射至透镜，第二平面反射镜将接收到的待测激光束反射至透镜；透镜将接收到的两束待测激光束透射至光电探测器，与光电探测器电连接的处理器检测光电探测器上产生的干涉现象，并计算待测激光束的波长。

技术领域

本实用新型涉及激光波长测量技术领域，特别涉及一种利用干涉原理完成激光波长测量的装置。

背景技术

激光波长的精确测量对于光学精密测量领域至关重要，以激光干涉仪为例，其测量精度与激光波长的精度直接相关，如何提高激光波长的测量精度，降低激光波长测量装置的复杂度与成本，成了相关领域的重要研究内容。

实用新型内容

本实用新型的目的在于改善现有技术中所存在的不足，提供一种利用干涉原理完成激光波长测量的装置。

为了实现上述实用新型目的，本实用新型实施例提供了以下技术方案：

一种利用干涉原理完成激光波长测量的装置，包括：

待测激光源，用于发射待测激光束；

分光镜，用于接收待测激光束，并将待测激光束反射/透射至反光镜，以及透射/反射至第二平面反射镜；

反光镜，用于接收分光镜反射/透射的待测激光束，并将接收到的待测激光束反射至第一平面反射镜；

第一平面反射镜，用于接收反光镜反射的待测激光束，并将接收到的待测激光束反射至透镜；

第二平面反射镜，与所述第一平面反射镜相对固定连接，用于接收分光镜透射/反射的待测激光束，并将接收到的待测激光束反射至透镜；

透镜，用于接收第一平面反射镜和第二平面反射镜反射的待测激光束，并将接收到的待测激光束透射至光电探测器；

光电探测器，用于接收透镜透射的待测激光束；

处理器，与光电探测器电连接，用于检测光电探测器上产生的干涉现象，并计算待测激光束的波长。

待测激光源向分光镜发射待测激光束，分光镜将待测激光束分为两束激光束，分光镜将待测激光束反射/透射至反光镜，将待测激光束透射/反射至第二平面反射镜，反光镜将接收到的待测激光束反射至第一平面反射镜。第一平面反射镜将接收到的待测激光束反射至透镜，第二平面反射镜将接收到的待测激光束反射至透镜。透镜将接收到的两束待测激光束透射至光电探测器，与光电探测器电连接的处理器检测光电探测器上产生的干涉现象。

更进一步地，为了更好的实现本实用新型，所述第一平面反射镜或第二平面反射镜连接有精密位移装置，用于带动第一平面反射镜和第二平面反射镜在第一平面反射镜和第二平面反射镜的水平方向或竖直方向上移动。

更进一步地，为了更好的实现本实用新型，所述精密位移装置为无导轨的压电陶瓷电机，避免了导轨加工误差对波长测量的影响，提高了波长测量结果的精度。

更进一步地，为了更好的实现本实用新型，所述透镜为凸透镜。

更进一步地，为了更好的实现本实用新型，所述光电探测器设置于所述凸透镜的焦点处。

所述透镜采用凸透镜，根据凸透镜的透射原理可知，垂直射入凸透镜的光线都会通过凸透镜的焦点，以便于光电探测器设置于凸透镜的焦点处时，能通过射入的待测激光束产生干涉现象。