[实用新型]一种探针卡清洗装置、清洁机构和按压机构

说明书

本实用新型公开了一种探针卡清洗装置，包括包括底座、池体、探针卡、探针、清洁机构和按压机构，清洁机构包括水箱、出液接头、进液接头、清洁海绵块盖板和打磨内衬，按压机构包括弹簧柱、压板、探针卡卡件、连接柱和卡柱。本实用新型含有清洁机构和按压机构，在反复按压按压机构的过程中，探针会在浸湿的清洁海绵块内摩擦，进而将探针上粘附的灰尘等擦掉，同时探针也会与盖板上的打磨内衬摩擦，可将探针表面的氧化层磨掉，大大方便了探针卡的清洁；本实用新型装置结构简单，无电力元件，采用按压的方式对探针卡的探针清洁，对探针的清洁较为彻底，有利于探针保证探针的导电能力，有利于保证装置的正常使用。

技术领域

本实用新型涉及一种探针卡清洗装置、清洁机构和按压机构，属于探针卡清洁应用技术领域。

背景技术

探针卡是一种测试接口，主要对裸芯进行测试，通过连接测试机和芯片，通过传输信号对芯片参数进行测试，探针卡在使用时是将探针卡上的探针直接与芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的。探针卡应用在IC尚未封装前，针对裸晶系以探针做功能测试，筛选出不良品、再进行之后的封装工程，因此，探针卡是IC制造中对制造成本影响相当大的重要制程之一。

探针卡的探针在使用过程中会粘附灰尘、出现氧化等情况，因此需要定期的对探针卡进行清洗，现有的探针卡大都是人工手动进行清洗或者使用超声波清洗设备进行清洗，人工清洗时较为麻烦，且探针表面的氧化层不容易清洗掉，使用超声波清洗设备进行清洗时，超声波设备的结构复杂，体积较大，生产和够买成本较高，存在一定的不足。因此，针对上述问题提出一种探针卡清洗装置、清洁机构和按压机构。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种探针卡清洗装置、清洁机构和按压机构。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的，一种探针卡清洗装置，包括底座、池体、探针卡、探针、清洁机构和按压机构，所述底座的顶面安装有池体，所述清洁机构安装在底座和池体上，所述池体的顶部安装有按压机构，所述按压机构上卡接有探针卡，所述探针卡的底面安装有探针，所述池体顶面的四个拐角处均开有卡槽；

所述清洁机构包括水箱、出液接头、进液接头、清洁海绵块盖板和打磨内衬，所述清洁海绵块填充在池体内，所述池体的顶面安装有盖板，所述盖板上开有多个与探针数量相同的镂空孔，所述盖板的镂空孔内嵌入安装有打磨内衬，所述池体的一侧板上贯穿安装有进液接头，所述底座的顶面安装有水箱，所述水箱的底板上贯穿安装有出液接头，所述阀门的底端与进液接头的一端连接在一起；

所述按压机构包括弹簧柱、压板、探针卡卡件、连接柱和卡柱，所述弹簧柱的底端固接有卡柱，所述池体顶面的四个拐角处均安装有弹簧柱，且所述弹簧柱底端的卡柱卡接在池体的卡槽内，四根所述弹簧柱的顶端安装在压板底面的四个拐角处，所述压板底面的中心处竖直固接有连接柱，所述连接柱的底端固接在探针卡卡件顶面的中心处，所述探针卡卡件内卡接有探针卡，且所述探针卡底面的探针位于打磨内衬的正上方。

优选的，所述水箱的底面安装有支架，所述支架的底端固接在底座的顶面，所述水箱的顶板开有加液嘴，所述加液嘴上螺纹安装有帽盖，所述水箱上嵌入安装有带有刻度的液位观察窗。

优选的，所述出液接头上安装有阀门，所述清洁海绵块与进液接头一端相邻的底部处开有缺口。

优选的，所述盖板通过螺栓安装在池体的顶面，所述盖板的顶面贴附安装有橡胶减震垫。

优选的，所述弹簧柱由柱体、筒体和弹簧构成，所述柱体套接在筒体内，所述筒体的底部处安装有弹簧，且所述弹簧的顶端与柱体的底端链接。

优选的，所述压板顶面的中心处固接有手持把手，所述手持把手上包覆安装有橡胶垫。