[实用新型]一种探针卡清洗装置、清洁机构和按压机构

权利要求书

1.一种探针卡清洗装置，其特征在于：包括底座（1）、池体（2）、探针卡（7）、探针（13）、清洁机构和按压机构，所述底座（1）的顶面安装有池体（2），所述清洁机构安装在底座（1）和池体（2）上，所述池体（2）的顶部安装有按压机构，所述按压机构上卡接有探针卡（7），所述探针卡（7）的底面安装有探针（13），所述池体（2）顶面的四个拐角处均开有卡槽；

所述清洁机构包括水箱（8）、出液接头（9）、进液接头（11）、清洁海绵块（12）盖板（15）和打磨内衬（16），所述清洁海绵块（12）填充在池体（2）内，所述池体（2）的顶面安装有盖板（15），所述盖板（15）上开有多个与探针（13）数量相同的镂空孔，所述盖板（15）的镂空孔内嵌入安装有打磨内衬（16），所述池体（2）的一侧板上贯穿安装有进液接头（11），所述底座（1）的顶面安装有水箱（8），所述水箱（8）的底板上贯穿安装有出液接头（9），阀门（10）的底端与进液接头（11）的一端连接在一起；

所述按压机构包括弹簧柱（3）、压板（4）、探针卡卡件（5）、连接柱（6）和卡柱（14），所述弹簧柱（3）的底端固接有卡柱（14），所述池体（2）顶面的四个拐角处均安装有弹簧柱（3），且所述弹簧柱（3）底端的卡柱（14）卡接在池体（2）的卡槽内，四根所述弹簧柱（3）的顶端安装在压板（4）底面的四个拐角处，所述压板（4）底面的中心处竖直固接有连接柱（6），所述连接柱（6）的底端固接在探针卡卡件（5）顶面的中心处，所述探针卡卡件（5）内卡接有探针卡（7），且所述探针卡（7）底面的探针（13）位于打磨内衬（16）的正上方。

2.根据权利要求1所述的一种探针卡清洗装置，其特征在于：所述水箱（8）的底面安装有支架，所述支架的底端固接在底座（1）的顶面，所述水箱（8）的顶板开有加液嘴，所述加液嘴上螺纹安装有帽盖，所述水箱（8）上嵌入安装有带有刻度的液位观察窗。

3.根据权利要求1所述的一种探针卡清洗装置，其特征在于：所述出液接头（9）上安装有阀门（10），所述清洁海绵块（12）与进液接头（11）一端相邻的底部处开有缺口。

4.根据权利要求1所述的一种探针卡清洗装置，其特征在于：所述盖板（15）通过螺栓安装在池体（2）的顶面，所述盖板（15）的顶面贴附安装有橡胶减震垫。

5.根据权利要求1所述的一种探针卡清洗装置，其特征在于：所述弹簧柱（3）由柱体（301）、筒体（302）和弹簧（303）构成，所述柱体（301）套接在筒体（302）内，所述筒体（302）的底部处安装有弹簧（303），且所述弹簧（303）的顶端与柱体（301）的底端链接。

6.根据权利要求1所述的一种探针卡清洗装置，其特征在于：所述压板（4）顶面的中心处固接有手持把手（17），所述手持把手（17）上包覆安装有橡胶垫。

7.一种探针卡清洗装置用清洁机构，其特征在于：包括水箱（8）、出液接头（9）、进液接头（11）、清洁海绵块（12）盖板（15）和打磨内衬（16），所述清洁海绵块（12）填充在池体（2）内，所述池体（2）的顶面安装有盖板（15），所述盖板（15）上开有多个与探针（13）数量相同的镂空孔，所述盖板（15）的镂空孔内嵌入安装有打磨内衬（16），所述池体（2）的一侧板上贯穿安装有进液接头（11），底座（1）的顶面安装有水箱（8），所述水箱（8）的底板上贯穿安装有出液接头（9），阀门（10）的底端与进液接头（11）的一端连接在一起。

8.一种探针卡清洗装置用按压机构，其特征在于：包括弹簧柱（3）、压板（4）、探针卡卡件（5）、连接柱（6）和卡柱（14），所述弹簧柱（3）的底端固接有卡柱（14），池体（2）顶面的四个拐角处均安装有弹簧柱（3），且所述弹簧柱（3）底端的卡柱（14）卡接在池体（2）的卡槽内，四根所述弹簧柱（3）的顶端安装在压板（4）底面的四个拐角处，所述压板（4）底面的中心处竖直固接有连接柱（6），所述连接柱（6）的底端固接在探针卡卡件（5）顶面的中心处，所述探针卡卡件（5）内卡接有探针卡（7），且所述探针卡（7）底面的探针（13）位于打磨内衬（16）的正上方。