[实用新型]一种水膜装置有效
申请号: | 201922101111.2 | 申请日: | 2019-11-28 |
公开(公告)号: | CN210575995U | 公开(公告)日: | 2020-05-19 |
发明(设计)人: | 张涛;朱新刚;田玉祥;孙欣 | 申请(专利权)人: | 西安黄河光伏科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 西安亚信智佳知识产权代理事务所(普通合伙) 61241 | 代理人: | 任月娜 |
地址: | 710043 陕西省*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 装置 | ||
本实用新型实施例是关于一种水膜装置。该水膜装置包括:检测传感器,设置于所述电池片传输通道上方,用于在检测到该电池片传输通道上有电池片时输出一感应信号;第一喷水单元,设置于所述电池片传输通道上方,且位于所述检测传感器的一侧;第二喷水单元,设置于所述电池片传输通道上方,且位于远离所述检测传感器的所述第一喷水单元一侧;以及控制器。本实用新型实施例通过使电池片先通过第一喷水单元被雾化浸湿表面,然后通过第二喷水单元对电池片表面细水滴喷淋,使得电池片表面形成薄层水膜,在一定程度上避免了刻蚀液对电池片外观造成的影响,而且也节约水。
技术领域
本实用新型实施例涉及太阳能光伏装备制造技术领域,尤其涉及一种用于太阳能电池制造湿法刻蚀工序的水膜装置。
背景技术
在太阳能电池生产工序中,刻蚀水膜的主要作用是在硅片表面覆盖一层水膜,因为在扩散工艺过程中,硅片的边缘及背面会形成不同程度的磷扩散,此边缘及背面的扩散层将形成电池正反面的电流导通。通过化学反应腐蚀掉硅片背面及四周的PN结,以达到正面和背面绝缘的目的,同时去除正面的磷硅玻璃层。刻蚀通过溶液表面张力使溶液与硅片下表面及边缘吸附,实现硅下表面及边缘的刻蚀,而上表面不发生反应。
在刻蚀槽(HNO3与HF的混合液)内,硅片漂浮在溶液表面,滚轮在运行过程中,出现的轻微波动,或者溶液液面的波动,都会引起系列外观问题,例如白点、白斑、过刻等现象,造成大量返工,造成生产效率降低。
现有技术中,采用在电池正面喷水柱,完全浸湿电池表面的工艺,在电池表面形成一层水膜,但该种方法采用的水柱或水滴,不能保证完全覆盖电池表面,仍然可能存在白点、白斑或过刻等问题,且该工艺用水浪费严重;另外,当电池硅片进行刻蚀前/后,需人工手动开启/关闭在电池片上形成水膜的装置,比较占用人力资源,自动化程度较低。因此,有必要改善上述相关技术方案中存在的一个或者多个问题。
需要注意的是,本部分旨在为权利要求书中陈述的本实用新型的实施方式提供背景或上下文。此处的描述不因为包括在本部分中就承认是现有技术。
实用新型内容
本实用新型实施例的目的在于提供一种水膜装置,进而至少在一定程度上克服由于相关技术的限制和缺陷而导致的一个或者多个问题。
根据本实用新型实施例,提供一种水膜装置,用于电池片制造湿法刻蚀工艺中,该装置包括:
检测传感器,设置于所述电池片传输通道上方,用于在检测到该电池片传输通道上有电池片时输出一感应信号;
第一喷水单元,设置于所述电池片传输通道上方,且位于所述检测传感器的一侧;
第二喷水单元,设置于所述电池片传输通道上方,且位于远离所述检测传感器的所述第一喷水单元一侧;
控制器,与所述检测传感器、第一喷水单元和第二喷水单元分别电连接,用于在接收到所述感应信号时生成控制信号,以根据该控制信号控制同时开启所述第一喷水单元和第二喷水单元,以使所述第一喷水单元对经过的电池片雾化喷水浸湿电池片表面,所述第二喷水单元对经过的电池片细水滴喷水在电池片表面形成水膜。
本实用新型的一实施例中,所述控制器包括延迟器,该延迟器延迟预设时长后生成所述控制信号。
本实用新型的一实施例中,所述检测传感器超过一预设时间后检测到所述电池片传输通道上无电池片,将停止所述感应信号的输出。
本实用新型的一实施例中,所述预设时长为2秒,所述预设时间为60秒。
本实用新型的一实施例中,所述检测传感器通过一支架设置于所述电池片传输通道的上方。
本实用新型的一实施例中,所述第一喷水单元包括:
雾化喷头支架,该雾化喷头支架位于所述电池片传输通道上方;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的