[实用新型]一种晶圆红外检测测试设备

权利要求书

1.一种晶圆红外检测测试设备，包括机架和保护罩，其特征在于，所述机架上安装洁净多轴机器人、晶圆料盒、晶圆自动校正器和支撑架，所述机架内部安装控制器，所述支撑架上安装红外测试机和红外光路系统，所述红外光路系统中部设置晶圆检测位，所述洁净多轴机器人、晶圆料盒、晶圆自动校正器和支撑架均设置在保护罩内部。

2.根据权利要求1所述的晶圆红外检测测试设备，其特征在于，所述红外光路系统包括上盒体和下盒体，所述上盒体和下盒体之间设置晶圆检测位，所述上盒体内交错安装反光镜、上双曲镜和上红外测试接收器，所述下盒体内安装下双曲镜和下红外测试接收器。

3.根据权利要求2所述的晶圆红外检测测试设备，其特征在于，所述红外测试机包括红外线发生器和测试机，所述红外线发生器射出的红外光正对反光镜，所述上红外测试接收器和下红外测试接收器与测试机电连接。

4.根据权利要求1所述的晶圆红外检测测试设备，其特征在于，所述保护罩外侧安装显示屏。