[实用新型]一种带感应装置的顶针有效
申请号: | 201922034378.4 | 申请日: | 2019-11-22 |
公开(公告)号: | CN211555845U | 公开(公告)日: | 2020-09-22 |
发明(设计)人: | 傅家勤 | 申请(专利权)人: | 上海迪伐新能源设备制造有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L31/18 |
代理公司: | 上海昱泽专利代理事务所(普通合伙) 31341 | 代理人: | 周晶晶 |
地址: | 201700 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 感应 装置 顶针 | ||
1.一种带感应装置的顶针,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)的上端中部固定连接有限位杆(2),所述限位杆(2)活动插接在顶杆(3)的中部限位插接槽(4)内,所述顶杆(3)的下部外侧固定连接有霍尔元件(5),所述底板(1)的上端外侧固定连接有圆环电磁铁(6),所述顶杆(3)的上端固定连接螺块(7),所述螺块(7)的外侧通过螺纹套接有第一连接环(9),所述第一连接环(9)的外侧通过螺纹套接有顶块(8),所述第一连接环(9)的下端镶嵌有红光接收器(10),所述顶杆(3)的外侧上部固定套接有加强环(11),所述加强环(11)的外侧活动套接有第二连接环(12),所述第二连接环(12)的上端固定连接有红光发射器(13),所述第二连接环(12)的外侧开有连接孔(14)。
2.根据权利要求1所述的一种带感应装置的顶针,其特征在于:所述顶块(8)的上端光滑且水平。
3.根据权利要求1所述的一种带感应装置的顶针,其特征在于:所述限位插接槽(4)的内腔侧壁和限位杆(2)的外侧壁均光滑。
4.根据权利要求1所述的一种带感应装置的顶针,其特征在于:所述顶杆(3)位于圆环电磁铁(6)的中心处。
5.根据权利要求1所述的一种带感应装置的顶针,其特征在于:所述红光接收器(10)至少设有4个,所述红光接收器(10)呈环形阵列排列在第一连接环(9)的下部内侧。
6.根据权利要求1所述的一种带感应装置的顶针,其特征在于:所述红光发射器(13)的数量等于红光接收器(10)的数量,所述红光接收器(10)呈环形阵列排列在第二连接环(12)的上端,所述红光发射器(13)与红光接收器(10)上下相对设置。
7.根据权利要求1所述的一种带感应装置的顶针,其特征在于:所述加强环(11)的外侧壁光滑,所述第二连接环(12)的内侧壁光滑,所述第二连接环(12)的内侧壁与加强环(11)外侧壁紧密贴合。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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