[实用新型]一种激光入射窗口保护装置

说明书

本实用新型适用于激光脉冲沉积技术领域，提供了一种激光入射窗口保护装置，用于保护激光入射窗口，包括：第一法兰、固定设置在所述第一法兰上的第二法兰、以及固定设置在所述第二法兰上的第三法兰；所述第二法兰中间位置上设有一旋转机构，所述旋转机构输出端连接一石英组件，所述旋转机构输出端与所述石英组件设置在所述第二法兰内部，所述第三法兰固定设置在所述腔体上；所述石英组件包括：与所述旋转机构传动连接的圆盘构件以及设置在所述圆盘构件上的多个石英玻璃片，所述圆盘构件中间位置与所述旋转机构输出端固定连接，圆盘构件上设有多个通孔，多个石英玻璃片设置在所述多个通孔内。本实用新型能提高激光透射效率和稳定性，减少污染。

技术领域

本实用新型属于脉冲激光沉积技术领域，尤其涉及一种激光入射窗口保护装置。

背景技术

脉冲激光沉积技术通过激光透过石英玻璃窗口，聚焦以后，入射到靶材表面上，溅射出原子、离子等物质沉积到基片上。由于溅射的原子、离子等物质同样会沉积在激光的入射窗口上，所以随着使用时间的增加，激光窗口会被污染，导致入射到靶材上的激光越来越弱。传统的解决方式是破真空以后擦拭激光窗口石英玻璃内表面。

然而，采用上述的方式在激光窗口污染以后，需要破真空擦拭激光窗口石英玻璃内表面，操作不方便，周期比较长；经常拆装激光窗口会增加、损伤法兰刀口和产生漏气点的概率，会导致法兰的密封性变差，影响真空度。激光窗口擦拭时间长了也会有磨损，而且不能完全擦干净，随着实验次数的增加，激光器窗口污染和磨损严重，导致激光透过率降低，需要更换激光窗口上的石英玻璃，而更换激光窗口上的比较厚的石英玻璃成本比较高。

实用新型内容

本实用新型提供一种激光入射窗口保护装置，旨在解决激光窗口污染严重，更换效率差的问题。

本实用新型是这样实现的，提供了一种激光入射窗口保护装置，用于保护激光入射窗口，包括：第一法兰、固定设置在所述第一法兰上的第二法兰、以及固定设置在所述第二法兰上的第三法兰；所述第二法兰中间位置上设有一旋转机构，所述旋转机构输出端连接一石英组件，所述旋转机构输出端与所述石英组件设置在所述第二法兰内部，所述第三法兰固定设置在所述脉冲激光腔体上，所述激光入射窗口位于所述第一法兰上；

所述石英组件包括：多个石英玻璃片、以及用于固定安装所述多个石英玻璃片的圆盘构件；所述圆盘构件中间位置与所述旋转机构输出端固定连接，所述圆盘构件上设有多个通孔，所述多个石英玻璃片设置在所述多个通孔内。

更进一步地，所述圆盘构件包括：第一圆盘、对应设置在所述第一圆盘上的第二圆盘，所述第一圆盘用于放置所述多个石英玻璃片，所述第二圆盘用于压紧所述多个石英玻璃片的第一圆盘。

更进一步地，所述多个通孔包括：环绕设置在所述第一圆盘上的多个第一通孔、环绕设置在所述第二圆盘上的第二通孔、以及设置在所述第二圆盘中心的第三通孔，所述第一通孔内设有一凹台，所述石英玻璃片穿过所述第二通孔设置在所述凹台上，所述旋转机构穿过所述第三通孔与所述第一圆盘固定连接。

更进一步地，所述第二通孔孔径小于所述石英玻璃片的直径。

更进一步地，所述第一通孔与所述第二通孔对应，所述第一通孔、所述第二通孔为8个。

更进一步地，所述多个石英玻璃片与所述第一通孔、所述第二通孔对应为8个。

更进一步地，所述旋转机构包括：所述旋转机构包括：一磁流体转轴、与所述磁流体转轴末端传动连接的转动轴、固定设置在所述转轴末端的转盘、以及设置在所述转动轴的轴承组件，所述转盘穿过所述第三通孔并固定在所述第一圆盘中心位置上。

更进一步地，所述轴承组件包括：固定设置在所述第二法兰内壁中心位置上的轴承座、设置在所述轴承座上的轴承，所述轴承与所述转动轴固定连接。

更进一步地，所述轴承为角接触球轴承。