[实用新型]一种激光入射窗口保护装置有效
申请号: | 201921961180.4 | 申请日: | 2019-11-14 |
公开(公告)号: | CN211142144U | 公开(公告)日: | 2020-07-31 |
发明(设计)人: | 张晓军;李炳坤;胡凯;代瑞娜 | 申请(专利权)人: | 深圳市矩阵多元科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/28 | 分类号: | C23C14/28;C23C14/56 |
代理公司: | 深圳市华优知识产权代理事务所(普通合伙) 44319 | 代理人: | 余薇 |
地址: | 518000 广东省深圳市南山区西*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 激光 入射 窗口 保护装置 | ||
1.一种激光入射窗口保护装置,用于保护激光入射窗口,其特征在于,包括:第一法兰、固定设置在所述第一法兰上的第二法兰、以及固定设置在所述第二法兰上的第三法兰;所述第二法兰中间位置上设有一旋转机构,所述旋转机构输出端连接一石英组件,所述旋转机构输出端与所述石英组件设置在所述第二法兰内部,所述第三法兰固定设置在一腔体上,所述激光入射窗口位于所述第一法兰上;
所述石英组件包括:多个石英玻璃片、以及用于固定安装所述多个石英玻璃片的圆盘构件;所述圆盘构件中间位置与所述旋转机构输出端固定连接,所述圆盘构件上设有多个通孔,所述多个石英玻璃片设置在所述多个通孔内。
2.如权利要求1所述的激光入射窗口保护装置,其特征在于,所述圆盘构件包括:第一圆盘、对应设置在所述第一圆盘上的第二圆盘,所述第一圆盘用于放置所述多个石英玻璃片,所述第二圆盘用于压紧所述多个石英玻璃片在所述第一圆盘上固定。
3.如权利要求2所述的激光入射窗口保护装置,其特征在于,所述多个通孔包括:环绕设置在所述第一圆盘上的多个第一通孔、环绕设置在所述第二圆盘上的第二通孔、以及设置在所述第二圆盘中心的第三通孔,所述第一通孔内设有一凹台,所述石英玻璃片穿过所述第二通孔设置在所述凹台上,所述旋转机构穿过所述第三通孔与所述第一圆盘固定连接。
4.如权利要求3所述的激光入射窗口保护装置,其特征在于,所述第二通孔孔径小于所述石英玻璃片的直径。
5.如权利要求3所述的激光入射窗口保护装置,其特征在于,所述第一通孔与所述第二通孔对应,所述第一通孔、所述第二通孔为8个。
6.如权利要求5所述的激光入射窗口保护装置,其特征在于,所述多个石英玻璃片与所述第一通孔、所述第二通孔对应为8个。
7.如权利要求3所述的激光入射窗口保护装置,其特征在于,所述旋转机构包括:一磁流体转轴、与所述磁流体转轴末端传动连接的转动轴、固定设置在所述转轴末端的转盘、以及设置在所述转动轴的轴承组件,所述转盘穿过所述第三通孔并固定在所述第一圆盘中心位置上。
8.如权利要求7所述的激光入射窗口保护装置,其特征在于,所述轴承组件包括:固定设置在所述第二法兰内壁中心位置上的轴承座、设置在所述轴承座上的轴承,所述轴承与所述转动轴固定连接。
9.如权利要求8所述的激光入射窗口保护装置,其特征在于,所述轴承为角接触球轴承。
10.如权利要求7所述的激光入射窗口保护装置,其特征在于,所述磁流体转轴前端外周上设有刻度。
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