[实用新型]一种高压射频PIN管

权利要求书

1.一种高压射频PIN管，包括N型重掺杂衬底，所述N型重掺杂衬底的上方设有高阻本征层，所述N型重掺杂衬底的下方设有背面电极金属，所述高阻本征层的上方设有P型重掺杂层，其特征在于：所述P型重掺杂层、高阻本征层和部分所述N型重掺杂衬底形成一个三层的柱形体，所述N型重掺杂衬底的上方还设有钝化层，所述钝化层包覆所述柱形体，所述钝化层在所述柱形体上面开设有通孔，在所述P型重掺杂层上方设有正面电极金属，所述正面电极金属穿过所述通孔与所述P型重掺杂层接触。

2.根据权利要求1所述的一种高压射频PIN管，其特征在于：所述柱形体为圆柱体，所述圆柱体高度为60-80μm。

3.根据权利要求2所述的一种高压射频PIN管，其特征在于：所述高阻本征层电阻率高于400Ω.CM，且厚度高于40μm。

4.根据权利要求3所述的一种高压射频PIN管，其特征在于：所述P型重掺杂层的表面杂质浓度为1e¹⁹至1e²¹个/cm²，结深为7-12μm。

5.根据权利要求4所述的一种高压射频PIN管，其特征在于：所述钝化层材质为玻璃。