[实用新型]一种半球谐振陀螺精密装调和检测装置

权利要求书

1.一种半球谐振陀螺精密装调和检测装置，包括石英谐振子(2)，电极基座(3)以及检测单元(12)，其特征在于，还包括：支撑平台(11)；

电极基座旋转角度调整单元(10)，设于所述支撑平台(11)的上侧，用于带动所述电极基座绕着其中心轴线进行旋转，调整基座电极与石英谐振子(2)的固有频率主轴进行对准；

谐振子倾角调整单元(9)，设于所述电极基座旋转角度调整单元(10)远离支撑平台(11)的一侧，用于调整所述石英谐振子(2)相对所述电极基座(3)的倾斜角度；

Y方向微位移调整单元(8)，设于谐振子倾角调整单元(9)相对电极基座旋转角度调整单元(10)的另一侧，用于调整所述石英谐振子(2)在Y方向上相对所述电极基座(3)的位置，调整到位后通过锁紧装置进行锁紧固定；

X方向微位移调整单元(7)，设于所述Y方向微位移调整单元(8)远离谐振子倾角调整单元(9)的一侧，用于调整所述石英谐振子(2)在X方向上相对所述电极基座(3)的位置，调整到位后再通过锁紧装置进行固定；

Z方向微位移调整单元(5)，设于X方向微位移调整单元(7)相对Y方向微位移调整单元(8)的另一侧，用于调整石英谐振子(2)相对于所述电极基座(3)在Z方向的相对位置，调整到位后通过锁紧装置进行固定。

2.根据权利要求1所述的一种半球谐振陀螺精密装调和检测装置，其特征在于，所述Z方向微位移调整单元(5)为双支柱精密直线运动导轨，所述石英谐振子(2)沿着直线运动导轨相对所述电极基座(3)在Z方向调整相应位移。

3.根据权利要求2所述的一种半球谐振陀螺精密装调和检测装置，其特征在于，所述石英谐振子(2)在Z方向的位移调整不大于±20mm，位移调整精度不大于1um。

4.根据权利要求1所述的一种半球谐振陀螺精密装调和检测装置，其特征在于，所述石英谐振子(2)在X方向的位移调整不大于±10mm，位移调整精度不大于1um。

5.根据权利要求1所述的一种半球谐振陀螺精密装调和检测装置，其特征在于，所述石英谐振子(2)在Y方向的位移调整不大于±10mm，位移调整精度不大于1um。

6.根据权利要求1所述的一种半球谐振陀螺精密装调和检测装置，其特征在于，还包括电极基座支撑单元(6)，所述电极基座支撑单元(6)位于Z方向微位移调整单元(5)的正下方且固定连接于X方向微位移调整单元(7)上，用于支撑和固定所述电极基座(3)。

7.根据权利要求1所述的一种半球谐振陀螺精密装调和检测装置，其特征在于，在所述Z方向微位移调整单元(5)上可拆卸连接有谐振子夹持单元(4)，用于夹持固定石英谐振子(2)，以使石英谐振子(2)的中心轴线与谐振子夹持单元(4)的轴线重合。

8.根据权利要求1所述的一种半球谐振陀螺精密装调和检测装置，其特征在于，所述谐振子倾角调整单元(9)，用于调整石英谐振子(2)相对于电极基座(3)的角度，其中，该角度包括绕X轴方向的倾斜角度θ和绕Y轴方向的倾斜角度φ。