[实用新型]一种前驱体储罐进料口处理装置

说明书

本实用新型公开一种前驱体储罐进料口处理装置，涉及输送装置技术领域，包括真空阀门、出料管、出料阀门和加热装置；所述真空阀门与出料管的侧面连通，所述出料阀门与出料管的一端连通，所述出料管的另一端与前驱体储料罐进料口连通，所述加热装置位于出料管上。本实用新型的有益效果在于：通过本实用新型中的前驱体储罐进料口处理装置，增加真空度，降低了前驱体的沸点，通过加热装置加热，增加前驱体的温度，使呈液态的前驱体从液态转变为气态，加快转移速率，增加转移的安全性，同时由于前驱体由液态转变为气态，可以减少前驱体在进料口的残留。

技术领域

本实用新型涉及输送装置技术领域，具体涉及一种前驱体储罐进料口处理装置。

背景技术

高纯ALD/CVD前驱体产品是整个电子工业体系的核心原材料之一，其被广泛应用于电脑芯片、太阳能电池、移动通讯、卫星导航、航天器等电子器件制造的诸多方面，在航天航空、新型太阳能电池、电子产品等领域发挥着巨大作用。

对于一些遇空气剧烈反应的前驱体原料，是采用钢瓶罐进行长期储存、转移和进料的。在使用储罐进料后，储罐插底管阀门上端管路及平接头有物料残留，不处理干净就拆除罐子会导致原料与空气反应，一是会对员工的健康安全造成一定的危害，二是会对储罐的接头造成腐蚀，影响储罐的使用寿命。所以，一些遇空气反应的前驱体，其进料结束后，对其储罐接头的安全处理尤为重要。

专利201820948838.7公开了一种玻璃器具溶液转移器，包括玻璃器壳体，所述玻璃器壳体的左侧下端固定插接有出液管，所述出液管的左端套接有橡胶塞，所述玻璃器壳体的内腔侧壁活动连接除液环，所述除液环的外侧固定连接有橡胶环，所述橡胶环的中部开有中空腔，所述中空腔的内部的上下侧壁和内侧壁均固定连接有塑料板，所述中空腔的内侧壁上固定插接有供气管，所述供气管固定插接在连接杆的中部，所述连接杆的左右两端分别连接在固定柱和除液环相对的侧壁上。该玻璃器具溶液转移器，通过设备整体结构，能够有效除去玻璃器壳体内腔侧壁上残留液体；通过橡胶环结构，能够使得橡胶环与玻璃器壳体内腔侧壁贴合更加紧密。

若使用产线上自带的真空装置进行抽真空来安全处理储罐连接口，对于一些高沸点的前驱体来说，处理时间过长；且产线的真空管路较长，进一步增加了安全处理的时间，影响工作效率。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于前驱体原料进行转移时存在安全问题，提供一种前驱体储罐进料口处理装置。

本实用新型通过以下技术手段实现解决上述技术问题的：

本实用新型提供一种前驱体储罐进料口处理装置，包括真空阀门、出料管、出料阀门和加热装置；

所述真空阀门与出料管的侧面连通，所述出料阀门与出料管的一端连通，所述出料管的另一端与前驱体储料罐进料口连通，所述加热装置位于出料管上。

工作原理：将真空阀门与真空装置连通，开启真空阀门，启动真空装置，打开出料阀门，使储料罐内的前驱体通过负压进入处理装置内，经过加热装置加热，前驱体原料从液态变成气态，从而进行转移。

有益效果：本实用新型中的前驱体为高沸点、具体腐蚀性的液态试剂，通过本实用新型中的真空阀门，增加真空度，降低了前驱体的沸点，通过加热装置加热，增加前驱体的温度，使呈液态的前驱体从液态转变为气态，加快转移速率，增加转移的安全性，同时由于前驱体由液态转变为气态，可以减少前驱体在进料口的残留。

优选的，还包括阀管、抽气管和管道螺母，所述阀管位于真空阀门的两侧，所述阀管包括第一阀管和第二阀管，所述抽气管包括第一抽气管和第二抽气管，所述第一阀管与第一抽气管螺纹连接，所述第二阀管与第二抽气管螺纹连接；

所述管道螺母的个数为2个，所述管道螺母分别位于第一阀管与第一抽气管的连接处、第二阀管与第二抽气管的连接处。