[实用新型]简易炉门结构

说明书

一种简易炉门结构，其包括反应腔、浆、第一炉门及放置于所述浆上的载具，所述反应腔一端设有供所述浆与所述载具进入的炉口，所述第一炉门与所述浆连接，还包括与所述浆连接的第二炉门，当所述浆处于开门状态时，所述载具退出所述反应腔，所述第二炉门关闭所述炉口；当所述浆处于关门状态时，所述载具与所述第二炉门位于所述反应腔内，所述第一炉门关闭所述炉口，如此设置，浆处于关门状态和关闭状态，反应腔的炉口都被关闭，可以大幅的减少反应腔内热量跑出，避免反应腔内温度下降，降低热量损失，有效维持反应腔的温度。

技术领域

本实用新型涉及镀膜系统，尤其涉及一种简易炉门结构。

背景技术

请参阅图1及图2所示，现有管式PEALD镀膜设备中，大多数采用“非着陆式”，即由桨10把载具20放到反应腔30中，炉门12集成在桨10上，当桨10把载具20送到反应腔30中正确位置的同时，炉门12关闭反应腔30的炉口32。当桨10处于开炉门12状态时，反应腔30的热量会大量的从炉口32跑出来，使反应腔30内温度快速下降，当下一次镀膜时，需要重新加热，耗时耗能。并且，跑出来的热量会使机台内部温度升高，需要另外增加机台的冷却系统，使机台成本和使用成本上升。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有减少反应腔热量损失、有效维持反应腔温度的简易炉门结构。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：一种简易炉门结构，其包括反应腔、浆、第一炉门及放置于所述浆上的载具，所述反应腔一端设有供所述浆与所述载具进入的炉口，所述第一炉门与所述浆连接，还包括与所述浆连接的第二炉门，所述第一炉门与所述第二炉门间隔开，所述载具位于所述第一炉门与所述第二炉门之间，所述第一炉门与所述第二炉门能够分别关闭所述炉口，当所述浆处于开门状态时，所述载具退出所述反应腔，所述第二炉门关闭所述炉口；当所述浆处于关门状态时，所述载具与所述第二炉门位于所述反应腔内，所述第一炉门关闭所述炉口。

作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述第一炉门与所述第二炉门相互平行。

作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述第一炉门组装于所述浆上或与所述浆一体连接。

作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述第二炉门组装于所述浆上或与所述浆一体连接。

作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述浆具有相对的第一末端和第二末端，所述第一炉门靠近于所述第一末端，所述第二炉门靠近于所述第二末端。

作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述第一炉门位于所述反应腔外侧，当所述浆处于关门状态时，所述第一炉门遮盖所述炉口，用于关闭所述炉口，所述第一炉门的横截面积大于所述炉口的横截面积。

作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述第二炉门位于所述反应腔内，当所述浆处于开门状态时，所述第二炉门位于所述炉口内，用于关闭所述炉口。

作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述第二炉门与所述炉口的横截面积趋于相等。

作为本实用新型进一步改进的技术方案，所述反应腔的另一相对端设有尾部封板，当所述浆处于关门状态时，所述第二炉门与所述尾部封板靠贴。

相较于现有技术，本实用新型简易炉门结构包括与所述浆连接的第二炉门，所述第一炉门与所述第二炉门间隔开，所述第一炉门与所述第二炉门能够分别关闭所述炉口，当所述浆处于开门状态时，所述载具退出所述反应腔，所述第二炉门关闭所述炉口；当所述浆处于关门状态时，所述载具与所述第二炉门位于所述反应腔内，所述第一炉门关闭所述炉口，如此设置，浆处于关门状态和关闭状态，反应腔的炉口都被关闭，可以大幅的减少反应腔内热量跑出，避免反应腔内温度下降，降低热量损失，有效维持反应腔的温度，减少升温时间，也就是减少工艺时间，降低能耗的同时，助于提升产能；减少反应腔中的热量进入其他机台，防止机台温度过高，从而保护机台内各元器件；简易炉门结构的结构轻巧，成本低廉。