[实用新型]一种坩埚保护支架有效

专利信息
申请号: 201921860794.3 申请日: 2019-10-31
公开(公告)号: CN210907202U 公开(公告)日: 2020-07-03
发明(设计)人: 何军舫 申请(专利权)人: 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司;博宇(天津)半导体材料有限公司;博宇(朝阳)半导体科技有限公司
主分类号: B08B3/12 分类号: B08B3/12;B08B13/00
代理公司: 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 代理人: 郑久兴
地址: 101101*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 坩埚 保护 支架
【说明书】:

实用新型公开了一种坩埚保护支架,包括:底板,设置有至少两个条形插孔,条形插孔的轴线与底板的板面垂直;支撑架,支撑架设有与条形插孔相匹配的插接部,支撑架与底板通过插接部插接,支撑架设有用于承托坩埚的承托部。在坩埚清洗过程中,将坩埚放置在该保护支架内,使得坩埚比较脆弱的上沿处于悬空状态,避免了清洗槽对坩埚上沿造成损伤,降低了清洗过程中坩埚的损坏率,延长了坩埚使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及坩埚支架领域,特别涉及在坩埚清洗过程中的一种坩埚保护支架。

背景技术

现有技术中,坩埚的使用非常普遍,在坩埚使用前后,往往需要对其进行清洗,去除坩埚表面的颗粒物以及其他杂质以便坩埚的后续使用,目前,常见的坩埚清洗装置是超声波清洗槽,在清洗时,需要将坩埚放置在槽内进行清洗,然而,由于坩埚上沿、籽晶腔等位置是坩埚比较脆弱的部位,如果直接将其放置在超声波清洗槽中,容易使坩埚上沿等脆弱部位由于磕碰受到损伤,降低坩埚使用寿命甚至直接损坏坩埚。

实用新型内容

本实用新型实施例的目的是提供一种坩埚保护支架,以解决坩埚清洗过程中容易使坩埚脆弱部位损伤的问题。

为解决上述技术问题,本实用新型实施例提供了一种坩埚保护支架,包括:底板,设置有至少两个条形插孔,条形插孔的轴线与底板的板面垂直;支撑架,支撑架设有与条形插孔相匹配的插接部,支撑架与底板通过插接部插接,支撑架设有用于承托坩埚的承托部。

进一步地,支撑架包括:两个侧板和至少两个支撑板;两个侧板设有插接部,两个侧板与底板插接;至少两个支撑板设于两个侧板之间,至少两个支撑板的两端分别与两个侧板插接;至少两个支撑板板缘内凹形成承托部。

进一步地,侧板设置有多个与支撑板插接的调节槽;调节槽延伸至侧板至少一侧的板缘。

进一步地,坩埚保护支架还包括:沿调节槽延伸方向排列设置有多个与支撑板插接的限位孔;限位孔与调节槽相通。

进一步地,调节槽垂直于底板;限位孔呈L形,L形的限位孔一端与调节槽相通,另一端向底板方向延伸。

进一步地,调节槽平行于底板;限位孔向底板方向延伸。

进一步地,支撑板两端设有与侧板插接的插槽。

进一步地,支撑架包括:至少两个承接板;至少两个承接板的板缘内凹形成承托部;至少两个承接板与底板通过条形插孔插接。

进一步地,至少两个条形插孔平行设置;至少两个承接板相互平行。

进一步地,至少两个条形插孔两两垂直设置;至少两个承接板相互交叉连接。

本实用新型实施例的上述技术方案具有如下有益的技术效果:

在坩埚清洗过程中,将坩埚放置在坩埚保护支架内,使得坩埚比较脆弱的上沿部位处于悬空状态,避免了清洗槽对坩埚上沿造成损伤,降低了清洗过程中坩埚的损坏率,延长了坩埚使用寿命。

附图说明

图1是本实用新型实施例1提供的坩埚保护支架的示意图;

图2是本实用新型实施例2提供的坩埚保护支架的示意图;

图3是本实用新型实施例2提供的侧板的示意图;

图4是本实用新型实施例2提供支撑板的装配图;

图5是本实用新型实施例3提供的坩埚保护支架的示意图;

图6是本实用新型实施例4提供的坩埚保护支架的示意图;

图7是本实用新型实施例5提供的坩埚保护支架的示意图。

附图标记:

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