[实用新型]一种旋转靶材绑定用抽真空装置

说明书

本实用新型涉及一种旋转靶材绑定用抽真空装置，绑定时，背管放置在模具底座的圆形凹槽内，旋转靶材套装在背管外侧并放置在圆形凹槽外的模具底座上，密封盖的圆形端盖放置在背管上，密封盖的凸缘与旋转靶材上端面接触，压杆放置在密封盖上，所述密封环Ⅰ设置于靶材与模具底座之间，密封环Ⅱ设置在背管与模具底座之间，密封环Ⅲ设置于靶材与密封盖之间，密封环Ⅳ设置在背管与密封盖之间。采用本实用新型在绑定过程对旋转靶材与背管之间形成的密闭空间进行抽真空，能够防止加热过程中旋转靶材被氧化，解决了现有绑定技术中靶管金属化层与背管金属化层在升温过程中被氧化的问题。

技术领域

本实用新型涉及一种旋转靶材绑定用抽真空装置。

背景技术

目前我国的平板显示制造企业发展迅速，国家大力支持先进产品实现国产化。目前镀膜用靶材有两种：平面靶材和旋转靶材。平面靶材溅射使用可达到30%左右，而旋转靶材溅射使用率可达到80%左右，其次旋转靶材在使用过程中不停地旋转，靶材表面光滑，使用均匀，不会出现“结瘤现象”，可以保证靶材使用质量，镀膜的均匀性，减少缺陷率以及提高成品率。旋转靶材是目前乃至以后发展的一大趋势。

旋转靶材生产过程主要有两大工序：其一：旋转靶材靶管的生产；其二：靶管与背管的绑定。

目前旋转靶材的绑定工装是按单节绑定方式进行的，采用现有的绑定工装进行绑定的工艺较为复杂，人工操作过程较多，对员工操作熟练程度较高。多节旋转靶材同时绑定方式存在的主要困难是，组件在加热过程中靶管与背管极易被氧化。且在注铟后，绑定层中会出现微气孔、疏松等缺陷，直接影响靶管与背管的焊合质量，从而导致靶管、背管与绑定层结合强度不足。长期使用后，金属绑定层易与靶管和背管脱落，若此脱落面积达到某个程度，则溅射时热量从靶管传递到背管会急剧减少，导致靶管局部温度过热，从而引起不均匀热效应，导致在溅射使用中出现靶材体破裂，从而中断镀膜沉淀工艺。故需要研发一种用于旋转靶材绑定的工装，以解决上述问题。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是：提供一种旋转靶材绑定用抽真空装置，采用该装置在绑定过程对旋转靶材与背管之间形成的密闭空间进行抽真空，能够防止加热过程中旋转靶材被氧化，解决了现有绑定技术中靶管金属化层与背管金属化层在升温过程中被氧化的问题。

解决上述技术问题的技术方案是：一种旋转靶材绑定用抽真空装置，包括模具底座、密封盖、压杆、密封环和抽真空泵，所述密封环包括密封环Ⅰ、密封环Ⅱ、密封环Ⅲ和密封环Ⅳ，所述模具底座为其上开有用于放置背管的圆形凹槽的平板结构，模具底座上开有与圆形凹槽连通的注铟通孔，所述密封盖是由圆形端盖和设置在圆形端盖边缘的凸缘构成，密封盖的凸缘设置有抽真空口，抽真空泵通过管道与抽真空口连通；

使用状态时，背管放置在模具底座的圆形凹槽内，旋转靶材套装在背管外侧并放置在圆形凹槽外的模具底座上，密封盖的圆形端盖放置在背管上，密封盖的凸缘与旋转靶材上端面接触，压杆放置在密封盖上，所述密封环Ⅰ设置于靶材与模具底座之间，密封环Ⅱ设置在背管与模具底座之间，密封环Ⅲ设置于靶材与密封盖之间，密封环Ⅳ设置在背管与密封盖之间。

所述圆形凹槽的直径比背管的直径大2-5mm。

所述抽真空口上设置有耐高温玻璃观察窗。

与现有技术相对比，采用本实用新型对旋转靶材进行绑定具有以下优点：

1、靶材和背管组装完成后，通过密封环使靶材与背管之间形成密闭空间，然后对旋转靶材与背管之间的密闭空间进行抽真空，采用抽真空方法对金属化层进行保护，防止靶材和背管的金属化层在加热过程中被氧化。

2、靶材组与背管采用常温组装方式，与现有需要在高温下组装的方式相比，更容易操作，减少烫伤风险，不需要因避免被氧化而严格控制组装时间；且绑定可根据需要同时绑定多节靶材，不受长度限制，由于在常温下操作，同轴度和间隙更方便控制。