[实用新型]一种旋转靶材绑定用抽真空装置有效
| 申请号： | 201921848877.0 | 申请日： | 2019-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN211036079U | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 陈标;刘所心;郭朋;段宇龙 | 申请（专利权）人： | 广西晶联光电材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/56;B22D19/04 |
| 代理公司： | 柳州市荣久专利商标事务所(普通合伙) 45113 | 代理人： | 韦微 |
| 地址： | 545616 广西壮族自治区柳州市柳*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 绑定 真空 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种旋转靶材绑定用抽真空装置，其特征在于：包括模具底座（5）、密封盖（6）、压杆（7）、密封环和抽真空泵（8），所述密封环包括密封环Ⅰ（1）、密封环Ⅱ（2）、密封环Ⅲ（3）和密封环Ⅳ（4），所述模具底座为其上开有用于放置背管的圆形凹槽的平板结构，模具底座上开有与圆形凹槽连通的注铟通孔（51），所述密封盖（6）是由圆形端盖（61）和设置在圆形端盖边缘的凸缘（62）构成，密封盖的凸缘设置有抽真空口（13），抽真空泵通过管道（9）与抽真空口连通；
使用状态时，背管放置在模具底座的圆形凹槽内，旋转靶材套装在背管外侧并放置在圆形凹槽外的模具底座上，密封盖的圆形端盖放置在背管上，密封盖的凸缘与旋转靶材上端面接触，压杆放置在密封盖上，所述密封环Ⅰ设置于靶材与模具底座之间，密封环Ⅱ设置在背管与模具底座之间，密封环Ⅲ设置于靶材与密封盖之间，密封环Ⅳ设置在背管与密封盖之间。
2.根据权利要求1所述的一种旋转靶材绑定用抽真空装置，其特征在于：所述圆形凹槽的直径比背管的直径大2-5mm。
3.根据权利要求1或2所述的一种旋转靶材绑定用抽真空装置，其特征在于：所述抽真空口上设置有耐高温玻璃观察窗（12）。
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