[实用新型]一种干涉式激光波长测量装置

权利要求书

1.一种干涉式激光波长测量装置，其特征在于：包括：

已知激光光学组件，用于发射已知激光束并实现干涉测量，得到参考的干涉数据；

待测激光光学组件，用于对待测激光束实现干涉测量，并参照已知激光光学组件得到的干涉数据，计算得到待测激光束的波长；

第一直角反射镜、与第一直角反射镜平行设置的第二直角反射镜，且第二直角反射镜的反射结构与第一直角反射镜的反射结构相对，所述已知激光光学组件发射的已知激光束和待测激光光学组件发射的待测激光束在第一直角反射镜和第二直角反射镜之间进行多次反射。

2.根据权利要求1所述的一种干涉式激光波长测量装置，其特征在于：

所述已知激光光学组件包括：

已知激光源，用于发射已知激光束；

第一分光镜，用于接收已知激光源发射的已知激光源，并将接收到的已知激光束透射至第一聚光透镜，以及反射至第一直角反射镜；

第一聚光透镜，用于接收第一分光镜透射的已知激光束，以及第二直角反射镜反射的已知激光束，并将接收到的已知激光束透射至第一光电探测器；

第一光电探测器，用于接收第一聚光透镜透射的已知激光束；

第一处理器，用于检测第一光电探测器上产生的干涉现象，并得到参考干涉数据。

3.根据权利要求1所述的一种干涉式激光波长测量装置，其特征在于：

所述待测激光光学组件包括：

第二分光镜，用于接收待测激光束，并将接收到的待测激光束透射至第二聚光透镜，以及反射至第一直角反射镜；

第二聚光透镜，用于接收第二分光镜透射的待测激光束，以及第二直角反射镜反射的待测激光束，并将接收到的待测激光束透射至第二光电探测器；

第二光电探测器，用于接收第二聚光透镜透射的待测激光束；

第二处理器，用于检测第二光电探测器上产生的干涉现象，并根据已知激光光学组件得到的干涉数据，计算得到待测激光束的波长。

4.根据权利要求1所述的一种干涉式激光波长测量装置，其特征在于：

所述一种干涉式激光波长测量装置设置于壳体内，且所述已知激光光学组件、待测激光光学组件、第一直角反射镜均相对于壳体固定，所述第二直角反射镜在其竖直方向上移动。

5.根据权利要求4所述的一种干涉式激光波长测量装置，其特征在于：所述壳体内设置有黑色吸光材料。

6.根据权利要求1-5任一项所述的一种干涉式激光波长测量装置，其特征在于：所述第二直角反射镜连接有精密位移装置，所述精密位移装置带动第二直角反射镜在其竖直方向上移动。

7.根据权利要求1-5任一项所述的一种干涉式激光波长测量装置，其特征在于：所述第一直角反射镜包括N组反射结构，第二直角反射镜包括M组反射结构，且第一直角反射镜和第二直角反射镜所包含的反射结构相同。