[实用新型]密封装置、工件处理容器及具有其的工件处理装置

说明书

本实用新型提供的密封装置、工件处理容器及具有其的工件处理装置，属于电镀技术领域，其中密封装置包括：用于对设在容器的壁上沿第一方向延伸的密封通道密封，所述密封通道用于供若干个密封部件穿过，至少一个密封组件，为柔性材料，设在所述密封通道内和/或设置在所述密封部件上；所述密封组件的内侧壁与其相对的所述密封通道的一侧内壁之间形成供所述密封部件穿过的滑行通道；所述滑行通道的可密封地滑动连接于所述密封部件的外壁与所述密封通道的内壁之间；本实用新型的密封装置，可减少容器内腔中的溶液进入滑行通道内，并从滑行通道内向外流出，使容器内溶液的液面高度下降的速度变慢，对后续批量处理工件的影响小。

技术领域

本实用新型涉及电镀技术领域，具体涉及一种密封装置、工件处理容器及具有其的工件处理装置。

背景技术

目前在清洗、电镀、涂覆等领域中，一般以不同容器盛装不同液体以组成所需的工艺流程，来对工件完成清洗、电镀、涂覆等工序处理。例如：要依次对工件进行除油-水洗-酸洗-水洗-电镀-水洗的工序，就需要依次设置六个容器。在相邻两个容器之间，需要设置连通通道，以供工件以及承载工件的治具进行通过。

在现有技术中，由于用于通过工件以及治具的通道，与治具之间需要存在一定间隙，因此，在工件以及治具上从第一个容器内粘挂的清洗液、电镀液以及酸洗液等残留液体，容易通过上述通道大量地进入到第二个容器内，从而造成两不同容器之间的串液。

因此，在清洗、电镀、涂覆等工序处理过程中，应防止相邻两容器之间的串液。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中的电镀过程中，相邻两容器之间容易串液的缺陷，从而提供一种密封装置。

本实用新型还提供一种工件处理容器和一种具有上述容器的工件处理装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种密封装置，用于对设在容器的壁上沿第一方向延伸的密封通道密封，所述密封通道用于供若干个密封部件穿过，其特征在于，包括：

至少一个密封组件，为柔性材料，设在所述密封通道内和/或设置在所述密封部件上；

所述密封组件的内侧壁与其相对的所述密封通道的一侧内壁之间形成供所述密封部件穿过的滑行通道；

所述滑行通道的可密封地滑动连接于所述密封部件的外壁与所述密封通道的内壁之间。

作为优选方案，所述密封组件为柔性刷,所述柔性刷固定设置在所述密封通道上。

作为优选方案，所述柔性刷沿着所述密封通道的通过方向间隔设置有多组，任意两组所述柔性刷之间的间隔为L2，所述密封部件的沿所述密封通道的方向的长度为L3；所述L2、L3之间满足：L2≤L3。

作为优选方案，所述柔性刷沿着所述密封通道的通过方向均匀间隔设置有多组；

相邻两组所述柔性刷之间的相互靠近的两边之间的间隔为L2；

任意两组所述柔性刷之间的相互远离的两边之间的间隔为L4_n；

任意相邻两组所述密封部件的相互靠近的两边之间的距离为L1_i；

所述密封部件的沿所述密封通道的方向的长度为L3；

任意相邻两组所述密封部件的相互远离的两边之间的距离为L5_i；

所述L1_i、L2、L3、L4_n和L5_i之间满足：

当L5_i≥L4_n时，L1_i+L3≤L4_n；