[实用新型]基于谐振腔耦合金属波导结构全光等离子体开关

权利要求书

1.基于谐振腔耦合金属波导结构全光等离子体开关，其特征是，包括附着在绝缘介质上的金属层(1)，以及镂空嵌设在金属层(1)中的传输波导(2)、谐振腔(4)和共振波导(3)；

所述传输波导(2)位于金属层(1)的中部；该传输波导(2)呈直条状，其两端分别延伸至金属层(1)两对边的边缘；

所述谐振腔(4)位于传输波导(2)的一侧；该谐振腔(4)呈矩形；

所述共振波导(3)位于传输波导(2)和谐振腔(4)之间；该共振波导(3)呈直条状，其一端与传输波导(2)相连通，另一端与谐振腔(4)相连通。

2.根据权利要求1所述的基于谐振腔耦合金属波导结构全光等离子体开关，其特征是，传输波导(2)和共振波导(3)均为矩形；谐振腔(4)为方形。

3.根据权利要求1或2所述的基于谐振腔耦合金属波导结构全光等离子体开关，其特征是，共振波导(3)延伸方向的中线与传输波导(2)延伸方向的中线垂直；谐振腔(4)的一条对称中心线与共振波导(3)延伸方向的中线重合，且谐振腔(4)的另一条对称中心线与传输波导(2)延伸方向的中线平行。

4.根据权利要求1所述的基于谐振腔耦合金属波导结构全光等离子体开关，其特征是，传输波导(2)的宽度小于等于共振波导(3)的宽度。

5.根据权利要求1所述的基于谐振腔耦合金属波导结构全光等离子体开关，其特征是，当谐振腔(4)和共振波导(3)的数量为2个以上时，这些谐振腔(4)及其对应的共振波导(3)分别位于传输波导(2)的同一侧和/或两侧。

6.根据权利要求5所述的基于谐振腔耦合金属波导结构全光等离子体开关，其特征是，当2个以上的谐振腔(4)及其对应的共振波导(3)位于传输波导(2)的同一侧时，这些谐振腔(4)及其对应的共振波导(3)之间还进一步增设有耦合波导(5)；

所述耦合波导(5)位于每2个谐振腔(4)及其对应的共振波导(3)之间；该耦合波导(5)呈直条状，其一端与传输波导(2)相连通，另一端延伸至金属层(1)的边缘。

7.根据权利要求6所述的基于谐振腔耦合金属波导结构全光等离子体开关，其特征是，耦合波导(5)为矩形。

8.根据权利要求7所述的基于谐振腔耦合金属波导结构全光等离子体开关，其特征是，耦合波导(5)延伸方向的中线和传输波导(2)延伸方向的中线垂直。

9.根据权利要求8所述的基于谐振腔耦合金属波导结构全光等离子体开关，其特征是，耦合波导(5)和传输波导(2)的宽度相同。