[实用新型]一种真空镀膜机

说明书

本实用新型公开了一种真空镀膜机，包括镀膜仓、真空镀膜装置、齿轮环、下转板、转轴、上转板、伺服电机、第一转筒、固定管、限位装置、第二转筒、固定筒和挂杆，镀膜仓一侧设有真空镀膜装置，真空镀膜装置的抽真空端与镀膜仓连接，镀膜仓内壁下端固定有齿轮环，齿轮环上表面通过轴承转动连接有下转板，下转板中部固定有转轴，镀膜仓内壁上端通过轴承转动连接有上转板，转轴顶部与上转板中部固定连接，镀膜仓内壁底部固定有伺服电机，且伺服电机的输出端与转轴固定连接，下转板表面通过轴承等距转动连接有第一转筒，此真空镀膜机便于更换镀膜工件，提高镀膜效率，并且镀膜均匀，便于人们使用。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种，而现有的真空镀膜机在对一些小型的工件进行镀膜时，一般都是将工件挂在挂杆上，镀膜仓内挂上多个工件，这样，人们在镀膜完成后，需要一个一个的将工件取下并再挂上新的工件，浪费大量的时间，效率较低，并且镀膜不均匀。为此，我们提出一种真空镀膜机。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空镀膜机，包括镀膜仓、真空镀膜装置、齿轮环、下转板、转轴、上转板、伺服电机、第一转筒、固定管、限位装置、第二转筒、固定筒和挂杆，所述镀膜仓一侧设有真空镀膜装置，所述真空镀膜装置的抽真空端与镀膜仓连接，所述镀膜仓内壁下端固定有齿轮环，所述齿轮环上表面通过轴承转动连接有下转板，所述下转板中部固定有转轴，所述镀膜仓内壁上端通过轴承转动连接有上转板，所述转轴顶部与上转板中部固定连接，所述镀膜仓内壁底部固定有伺服电机，且伺服电机的输出端与转轴固定连接，所述下转板表面通过轴承等距转动连接有第一转筒，所述第一转筒内壁卡接有固定管，所述固定管上端安装有限位装置，所述上转板表面通过轴承等距转动连接有第二转筒，且限位装置与第二转筒卡接，所述固定管外侧等距套设有固定筒，所述固定筒外侧下端等距固定有挂杆。

优选的，所述限位装置包括滑杆、弹簧、第一螺纹杆、螺纹套筒、连接杆、第二螺纹杆和限位杆，所述固定管内壁上端滑动连接有滑杆，所述固定管内壁固定有弹簧，且弹簧顶部与滑杆固定连接，所述滑杆顶部固定有第一螺纹杆，所述第一螺纹杆外侧螺纹连接有螺纹套筒，所述螺纹套筒通过轴承与固定管转动连接，所述第一螺纹杆顶部固定连接杆，所述连接杆远离第一螺纹杆的一端固定有第二螺纹杆，所述第二螺纹杆顶部固定有限位杆，且限位杆与第二转筒卡接。

优选的，所述固定管内壁上端对称开设有限位槽，所述滑杆上端对称固定有限位块，且限位块与限位槽滑动连接。

优选的，所述第一转筒和第二转筒内壁均等距固定有第一卡块，所述固定管外侧底部和限位杆外侧均等距固定有第二卡块，所述第一转筒上的第一卡块与固定管上的第二卡块相互卡接，且第二转筒内的第一卡块与限位杆上的第二卡块相互卡接，所述第一卡块和第二卡块一端均呈三角状设置，所述第一卡块与第二卡块结构相同。

优选的，所述第一转筒底部穿过下转板固定有从动齿轮，所述从动齿轮与齿轮环啮合连接。

优选的，所述固定筒一侧开设有螺纹孔，所述螺纹孔内壁螺纹连接有螺纹旋钮，且固定筒通过螺纹旋钮与固定管固定连接。

优选的，所述伺服电机为一种减速电机。

优选的，所述镀膜仓一侧通过铰链转动连接有密封门。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：