[实用新型]铝蚀刻液生产设备有效
| 申请号： | 201921639400.1 | 申请日： | 2019-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN210736177U | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 童晨 | 申请（专利权）人： | 昆山晶科微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B67C3/26 | 分类号： | B67C3/26;B67C3/28;B67C3/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蚀刻 生产 设备 | ||
【权利要求书】：
1.铝蚀刻液生产设备，其特征在于，包括混合罐、过滤器、数个储存罐、数辆液压升降式拖车和地磅，所述混合罐通过液管与所述过滤器连接，所述过滤器的出液口处安装有气动升降式出液管，每个所述储存罐固定在对应的拖车顶部，所述储存罐的进液口和出液口处安装有单向液动阀，所述地磅位于所述过滤器的下方，所述地磅的顶部设置有将所述拖车固定的气动夹紧机构。
2.根据权利要求1所述的铝蚀刻液生产设备，其特征在于，所述地磅的顶部平台中设置有两条卡块，所述卡块与平台之间形成一插槽；所述气动夹紧机构包括气缸和压紧块，所述压紧块位于所述插槽中，所述气缸的伸缩杆与所述压紧块固连。
3.根据权利要求1所述的铝蚀刻液生产设备，其特征在于，所述拖车的顶部设置有一圈围设在所述储存罐外部的护栏。
4.根据权利要求1所述的铝蚀刻液生产设备，其特征在于，所述拖车的顶部设置有一集液盒，所述储存罐安装在所述集液盒中。
5.根据权利要求1所述的铝蚀刻液生产设备，其特征在于，所述拖车的顶部于所述储存罐的旁侧设置有集液腔室。
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