[实用新型]真空吸附装置

说明书

本实用新型涉及一种真空吸附装置，包括：真空吸附盘，所述真空吸附盘的中心设置有第一吸气口；气液分离结构，包括入口和出口，所述入口通过第一管道与所述第一吸气口连通；文丘里管，包括位于相对的两端的第一进气口和第一出气口，以及位于侧面的第二进气口，所述第二进气口与所述气液分离结构的所述出口连通。

技术领域

本实用新型涉及真空吸附技术领域，尤其涉及一种真空吸附装置。

背景技术

在硅晶圆边缘抛光中，硅晶圆吸附采用的真空发生装置为水环真空泵，由于水环真空泵需要有tap water(自来水)的供应，并且因为结构的问题，自来水会吸混入随气体被吸入的液体，该液体是不符合水环真空泵的水封用水要求的，可能是具有污染的，导致需要直接排掉水环真空泵内的水，然后重新供水，水环真空泵水封用水量很大，频繁供水、排水，使用成本上升，且能耗高，并且水环真空泵的占地面积较大。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种真空吸附装置，解决采用水环真空泵进行真空吸附造成的能耗高、成本高等的问题。

为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种真空吸附装置，包括：

真空吸附盘，所述真空吸附盘的中心设置有第一吸气口；

气液分离结构，包括入口和出口，所述入口通过第一管道与所述第一吸气口连通；

文丘里管，包括位于相对的两端的第一进气口和第一出气口，以及位于侧面的第二进气口，所述第二进气口与所述气液分离结构的所述出口连通。

可选的，从所述第一进气口到所述第一出气口的方向，所述文丘里管依次包括收缩管、喉管和扩散管，所述第二进气口位于所述喉管。

可选的，还包括压缩空气提供结构，通过管道与所述第一进气口连通、以向所述文丘里管提供压缩空气。

可选的，所述压缩空气提供结构包括通过管道相互连通的空气干燥部、空气清洁部和空气压缩部。

可选的，包括至少一个所述文丘里管，在所述真空吸附装置包括至少两个所述文丘里管时，所述每个所述文丘里管的所述第二进气口连接一个分支管道，所述气液分离结构的所述出口连接一个主管道，每个所述分支管道与所述主管道连通。

可选的，所述主管道上设置有第一阀门，和/或每个所述分支管道上设置有第二阀门。

可选的，所述气液分离结构包括具有容纳腔体的本体，所述本体的上半部分的侧壁上设有与所述容纳腔体连通的所述入口和所述出口。

可选的，还包括储液箱，所述本体的底部设置有出液口，所述出液口通过第二管道与所述储液箱连通。

可选的，所述第一管道上设置有第三阀门，所述第三管道上设置有第四阀门。

可选的，所述第三阀门和/或所述第四阀门为电磁阀。

本实用新型的有益效果是：采用文丘里管代替水环真空泵提供真空环境，进行真空吸附，并采用气液分离结构将进行真空吸附时、混入气体中的液体分离出来，避免了混入气体中的液体进入文丘里管，彻底解决采用水环真空泵进行真空吸附时、吸入的气体混入液体，而造成的成本上升、能耗重等问题。

附图说明

图1表示本实用新型实施例中真空吸附装置结构示意图；

图2表示本实用新型实施例中的文丘里管结构示意图；

图3表示本实用新型实施例中传动部的部分结构示意图。

具体实施方式