[实用新型]真空吸附装置有效
申请号: | 201921634520.2 | 申请日: | 2019-09-27 |
公开(公告)号: | CN210650147U | 公开(公告)日: | 2020-06-02 |
发明(设计)人: | 王建新 | 申请(专利权)人: | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
主分类号: | B24B37/27 | 分类号: | B24B37/27;B24B41/06;B01D45/02 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;刘伟 |
地址: | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空 吸附 装置 | ||
1.一种真空吸附装置,其特征在于,包括:
真空吸附盘,所述真空吸附盘的中心设置有第一吸气口;
气液分离结构,包括入口和出口,所述入口通过第一管道与所述第一吸气口连通;
文丘里管,包括位于相对的两端的第一进气口和第一出气口,以及位于侧面的第二进气口,所述第二进气口与所述气液分离结构的所述出口连通。
2.根据权利要求1所述的真空吸附装置,其特征在于,从所述第一进气口到所述第一出气口的方向,所述文丘里管依次包括收缩管、喉管和扩散管,所述第二进气口位于所述喉管。
3.根据权利要求1所述的真空吸附装置,其特征在于,还包括压缩空气提供结构,通过管道与所述第一进气口连通、以向所述文丘里管提供压缩空气。
4.根据权利要求3所述的真空吸附装置,其特征在于,所述压缩空气提供结构包括通过管道相互连通的空气干燥部、空气清洁部和空气压缩部。
5.根据权利要求1所述的真空吸附装置,其特征在于,包括至少一个所述文丘里管,在所述真空吸附装置包括至少两个所述文丘里管时,每个所述文丘里管的所述第二进气口连接一个分支管道,所述气液分离结构的所述出口连接一个主管道,每个所述分支管道与所述主管道连通。
6.根据权利要求5所述的真空吸附装置,其特征在于,所述主管道上设置有第一阀门,和/或每个所述分支管道上设置有第二阀门。
7.根据权利要求1所述的真空吸附装置,其特征在于,所述气液分离结构包括具有容纳腔体的本体,所述本体的上半部分的侧壁上设有与所述容纳腔体连通的所述入口和所述出口。
8.根据权利要求7所述的真空吸附装置,其特征在于,还包括储液箱,所述本体的底部设置有出液口,所述出液口通过第二管道与所述储液箱连通。
9.根据权利要求8所述的真空吸附装置,其特征在于,所述第一管道上设置有第三阀门,所述第二管道上设置有第四阀门。
10.根据权利要求9所述的真空吸附装置,其特征在于,所述第三阀门和/或所述第四阀门为电磁阀。
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