[实用新型]一种便携式等离子清洗系统

说明书

一种便携式等离子清洗系统，其包括主框架、与主框架连接的后背板及设于主框架上的外防护壳，所述主框架包括反应腔体、设于反应腔体一侧的调谐网络、电路系统、控制单元以及控制主板，所述反应腔体及调谐网络位于主框架的上部，所述电路系统设于主框架靠下部的一侧，所述控制单元与控制主板设于主框架靠下部的与电路系统相背的另一侧。本实用新型的便携式等离子清洗系统属于桌上型设备，设计紧凑，占地空间小，功能齐全且成本低，同时，降低了等离子清洗系统的使用门槛，为更多行业以及科研机构的工艺研发创造了便利条件。

技术领域

本申请属于等离子清洗技术领域，尤其涉及一种便携式等离子清洗系统。

背景技术

随着电子产品消费需求和电子制造技术的快速发展，以及国家供给侧改革及环保督察力度的加大，这种无污染，高可靠性等离子清洗设备的应用场景不断增多。而目前行业内的等离子清洗设备大多都是针对光电制造行业的半导体和电路板制造而设计开发的，设备系统繁复，占地面积大，功耗高，而设备大且通用性差，价格昂贵，使用门槛高，客观上对其他行业的普及使用造成了一定的障碍。

针对现有技术中存在的问题，为了降低等离子清洗设备的使用门槛，实现应用场景的多样化，本实用新型提供一种便携式等离子清洗系统。

实用新型内容

本实用新型的目的在于设计一种便携式等离子清洗系统，该便携式等离子清洗系统属于桌上型设备，设计紧凑，降低了等离子清洗设备的使用门槛，实现了应用场景的多样化。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种便携式等离子清洗系统，其包括主框架、与主框架连接的后背板及设于主框架上的外防护壳，所述主框架包括反应腔体、设于反应腔体一侧的调谐网络、电路系统、控制单元以及控制主板，所述反应腔体及调谐网络位于主框架的上部，所述电路系统设于主框架靠下部的一侧，所述控制单元与控制主板设于主框架靠下部的与电路系统相背的另一侧。

进一步的，所述便携式等离子清洗系统还包括与主框架连接的腔体门，所述腔体门上设有操控视窗。

进一步的，所述腔体门和操控视窗共同组成了便携式等离子清洗系统的密封门。

进一步的，所述操控视窗的玻璃上装配有金属屏蔽网。

进一步的，所述便携式等离子清洗系统还包括面板，所述面板位于腔体门上。

进一步的，所述便携式等离子清洗系统还包括发生器门及发生器，所述发生器位于发生器门与主框架围成的空间内。

进一步的，所述反应腔体为分离式腔体，所述反应腔体内部设有正负极以及用来放置托盘的托盘保持架。

进一步的，所述反应腔体的四周由四块加工好的铝板用胶粘结在一起并用螺钉紧固，所述反应腔体的后部由后背板用密封圈和紧固件与铝板相连接，共同构成了一个整体。

进一步的，所述后背板面向反应腔体的位置设有抽气孔、压力真空计及正负电极柱。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：

(1)、本实用新型属于桌上型设备，设计紧凑，占地空间小，功能齐全且成本低。

(2)、本实用新型降低了等离子清洗系统的使用门槛，实现了应用场景的多样化，为更多行业以及科研机构的工艺研发创造了便利条件。

(3)、本实用新型系统操作简单，有卓越的性能，高可靠性。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。