[实用新型]一种便携式等离子清洗系统

权利要求书

1.一种便携式等离子清洗系统，其特征在于，其包括主框架、与主框架连接的后背板及设于主框架上的外防护壳，所述主框架包括反应腔体、设于反应腔体一侧的调谐网络、电路系统、控制单元以及控制主板，所述反应腔体及调谐网络位于主框架的上部，所述电路系统设于主框架靠下部的一侧，所述控制单元与控制主板设于主框架靠下部的与电路系统相背的另一侧。

2.根据权利要求1所述的便携式等离子清洗系统，其特征在于：所述便携式等离子清洗系统还包括与主框架连接的腔体门，所述腔体门上设有操控视窗。

3.根据权利要求2所述的便携式等离子清洗系统，其特征在于：所述腔体门和操控视窗共同组成了便携式等离子清洗系统的密封门。

4.根据权利要求2所述的便携式等离子清洗系统，其特征在于：所述操控视窗的玻璃上装配有金属屏蔽网。

5.根据权利要求2所述的便携式等离子清洗系统，其特征在于：所述便携式等离子清洗系统还包括面板，所述面板位于腔体门上。

6.根据权利要求1所述的便携式等离子清洗系统，其特征在于：所述便携式等离子清洗系统还包括发生器门及发生器，所述发生器位于发生器门与主框架围成的空间内。

7.根据权利要求1所述的便携式等离子清洗系统，其特征在于：所述反应腔体为分离式腔体，所述反应腔体内部设有正负极以及用来放置托盘的托盘保持架。

8.根据权利要求7所述的便携式等离子清洗系统，其特征在于：所述反应腔体的四周由四块加工好的铝板用胶粘结在一起并用螺钉紧固，所述反应腔体的后部由后背板用密封圈和紧固件与铝板相连接，共同构成了一个整体。

9.根据权利要求8所述的便携式等离子清洗系统，其特征在于：所述后背板面向反应腔体的位置设有抽气孔、压力真空计及正负电极柱。