[实用新型]一种晶圆工作台结构及探针台

说明书

本实用新型公开了一种晶圆工作台结构及探针台。所述晶圆工作台结构，承片台设置有导向孔，穿过导向孔的顶杆连接有密封部，顶杆退回导向孔时，密封部能够容纳并密封于导向孔；一种探针台采用了所述晶圆工作台结构；减少晶圆与顶杆之间的空气，只剩余有密封部与晶圆之间的少量空气，改善对晶圆加热引起的外观缺陷。

技术领域

本实用新型涉及一种晶圆工作台结构及探针台。

背景技术

当晶圆吸附于承片台时，顶杆与晶圆之间的空间与大气连通；对晶圆高温测试前，对晶圆加热过程中空气与晶圆反应产生不同于其它部分的颜色，空气太多颜色明显更深，而晶圆下侧（贴合承片台）其它位置因贴合承片台空气少，造成晶圆加热后外观缺陷；减少晶圆与顶杆此处的空气能够改善对晶圆外观的影响。

实用新型内容

为解决晶圆与顶杆间存在大量空气的问题，本实用新型提出一种晶圆工作台结构。

本实用新型的技术方案为：一种晶圆工作台结构，承片台设置有导向孔，穿过导向孔的顶杆连接有密封部，顶杆退回导向孔时，密封部能够容纳并密封于导向孔。

进一步的，所述导向孔为阶梯孔，所述密封部贴合于台阶。

进一步的，所述导向孔为内锥形孔，所述密封部能够贴合于所述内锥形孔。

进一步的，所述密封部为弹性橡胶。

进一步的，所述密封部套设并弹性连接于顶杆。

一种探针台，设置有上述的晶圆工作台结构。

本实用新型的有益效果在于：减少晶圆与顶杆之间的空气，只剩余有密封部与晶圆之间的少量空气，改善对晶圆加热引起的外观缺陷。

附图说明

图1为本实用新型晶圆工作台结构顶起晶圆示意图；

图2为本实用新型晶圆工作台结构晶圆放置于承片台示意图；

图3为第一种密封部连接于顶杆示意图；

图4为第二种密封部连接于顶杆示意图；

图5为第三种密封部连接于顶杆示意图；

图6为第四种密封部连接于顶杆示意图；

图7为第五种密封部连接于顶杆示意图；

图8为现有用于支撑晶圆的结构。

具体实施方式

为便于本领域技术人员理解本实用新型的技术方案，下面将本实用新型的技术方案结合具体实施例作进一步详细的说明。

图8为现有用于支撑晶圆40的结构，支撑晶圆40的顶杆301与导向孔201之间有缝隙，从而造成空气能够自由流通达到晶圆40；对于高温测试需要对晶圆40加热，此处流通至晶圆40的空气造成晶圆40下表面（接触承片台20）颜色变化不一致，造成外观缺陷。

如图1、图2、图3、图4、图5、图6和图7所示，一种晶圆工作台结构100，承片台20设置有导向孔21，穿过导向孔21的顶杆30连接有密封部31，所述顶杆30能够沿所述导向孔21伸缩实现对晶圆40顶起，使晶圆40离开承片台20；所述密封部31用于阻断导向孔21中的空气；顶杆30退回导向孔21时，密封部31能够容纳并密封于导向孔21，从而阻断导向孔21将晶圆40与大气连通；此时晶圆40与承片台20接触的一侧，仅仅在密封部31到晶圆40之间的空间有空气，从而减少对晶圆40加热引起晶圆40与承片台20一侧外观缺陷。