[实用新型]一种具备监控报警模块式的晶圆测试用探针台

说明书

本实用新型公开了一种具备监控报警模块式的晶圆测试用探针台，包括箱体，所述箱体内腔的底部固定连接有支撑架，所述支撑架的顶部固定连接有固定槽，所述固定槽的内表面固定连接有圆片，所述箱体内腔的顶部固定连接有第一滑道，且第一滑道的内表面滑动连接有支撑板，所述支撑板的内表面螺纹连接有第一螺纹杆，本实用新型涉及机械设备技术领域。该具备监控报警模块式的晶圆测试用探针台，对测试的成品率进行实时监控，提高了检测的精准度，有效避免了误判损失，解决了现有的测试设备对于修条类产品不能够进行再次测试，很容易出现检测失误而导致大量合格管芯被误判成次品使产品报废损失的情况，给企业带来损失的问题。

技术领域

本实用新型涉及机械设备技术领域，具体为一种具备监控报警模块式的晶圆测试用探针台。

背景技术

晶圆制造厂把多晶硅融解，再于融液里种入籽晶，然后将其慢慢拉出，以形成圆柱状的单晶硅晶棒，由于硅晶棒是由一颗晶面取向确定的籽晶在熔融态的硅原料中逐渐生成，此过程称为“长晶”。硅晶棒再经过切段、滚磨、切片、倒角、抛光、激光刻、包装后，即成为积体电路工厂的基本原料——硅晶圆片，这就是“晶圆”。

晶圆测试是对晶片上的每个晶粒进行针测，在检测头装上以金线制成细如毛发之探针，与晶粒上的接点接触，测试其电气特性，不合格的晶粒会被标上记号，而后当晶片依晶粒为单位切割成独立的晶粒时，标有记号的不合格晶粒会被淘汰，不再进行下一个制程，以免徒增制造成本。

现有的晶圆测试装置大多是人员控制探针与接点一一接触，这样的设置对于修条类产品不能够进行再次测试，很容易出现检测失误而导致大量合格管芯被误判成次品使产品报废损失的情况，给企业带来损失。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种具备监控报警模块式的晶圆测试用探针台，解决了现有的测试设备对于修条类产品不能够进行再次测试，很容易出现检测失误而导致大量合格管芯被误判成次品使产品报废损失的情况，给企业带来损失的问题。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种具备监控报警模块式的晶圆测试用探针台，包括箱体，所述箱体内腔的底部固定连接有支撑架，所述支撑架的顶部固定连接有固定槽，所述固定槽的内表面固定连接有圆片，所述箱体内腔的顶部固定连接有第一滑道，且第一滑道的内表面滑动连接有支撑板，所述支撑板的内表面螺纹连接有第一螺纹杆，所述箱体的背面固定连接有支撑台，且支撑台的顶部固定连接有第一电机，所述第一螺纹杆的一端通过轴承与箱体的内壁转动连接，所述第一螺纹杆的另一端贯穿箱体并与第一电机输出轴的表面固定连接，所述支撑板的左侧固定连接有吊板，且吊板的右侧通过轴承转动连接有第二螺纹杆，所述支撑板的右侧固定连接有吊架，且吊架的顶部固定连接有第二电机，所述第二螺纹杆的一端贯穿吊架并与第二电机输出轴的表面固定连接，所述支撑板的底部固定连接有第二滑道，且第二滑道的内表面滑动连接有移动块，所述移动块的底部通过微调机构固定连接有第一伸缩杆，所述第一伸缩杆推杆的底部螺纹连接有探针。

优选的，所述固定槽的表面开设有气孔，且固定槽的底部固定连接有密封筒，所述箱体内腔的底部且位于固定槽的下方固定连接有气泵。

优选的，所述气泵进气口的表面连通有进气管，所述进气管的一端与密封筒的内部连通，且气泵出气口的表面连通有出气管，所述出气管的一端贯穿箱体并延伸至箱体的外部。

优选的，所述箱体的底部固定连接有脚架，所述脚架的顶部且位于箱体的右侧固定连接有电箱，且电箱的表面通过铰链铰接有第一箱门。

优选的，所述支撑板的内部且位于第一螺纹杆的两侧均贯穿有稳定柱，所述稳定柱的两端分别与箱体的前后两壁固定连接。

优选的，所述箱体的表面通过铰链铰接有第二箱门，且箱体的顶部固定连接有警示灯。

优选的，所述微调机构包括第二伸缩杆和调节板道，所述第二伸缩杆推杆的表面与第一伸缩杆的右侧固定连接，且第一伸缩杆的顶部与调节板道的内表面滑动连接。