[实用新型]一种晶片夹具有效
申请号: | 201921443793.9 | 申请日: | 2019-09-02 |
公开(公告)号: | CN210925979U | 公开(公告)日: | 2020-07-03 |
发明(设计)人: | 丁国平;陈时兴;胡孝天;刘虹 | 申请(专利权)人: | 嘉兴百盛光电有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687 |
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地址: | 314009 浙江省嘉*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 晶片 夹具 | ||
本实用新型公开了一种晶片夹具,包括夹具本体,所述夹具本体上设有握柄;夹臂,所述夹臂有所述夹具本体向远离所述握柄方向延伸形成;夹块,所述夹块设置在所述夹臂的端部;其中,所述夹臂包括远离所述握柄呈Y形叉开的第二端和靠近所述握柄的第一端,至少在所述夹臂第一端上的夹块呈活动设置;本实用新型中通过夹块构成的夹紧结构夹取晶片,其中至少有一个夹块设置为活动,可以形成一自动锁定的结构,在夹取和移动晶片的过程中,不需要工作人员持续对夹块提供压力,降低了晶片受损的概率;同时夹块设置为活动设置,夹具可以夹取不同的晶片,扩大了适用范围。
【技术领域】
本实用新型涉及晶片夹具领域,特别涉及一种晶片夹具。
【背景技术】
目前在光学晶片领域,晶片本身具有薄、脆的特点,光学晶片对其表面的完整程度要求非常高,因此,操作人员双手佩戴手套拿取晶片的侧面;另外,操作人员通常使用一些夹具来夹取晶片,如镊子、真空吸附盘等,提高了夹取的效果,同时也避免了操作人员直接通过双手直接夹取晶片带来的不利影响。
根据公开号为CN103094173A的中国发明文献公开的一种多夹头晶片夹具,通过施力与夹臂控制夹头来夹取晶片,该发明中包括了四个及以上的夹头,夹头安装在夹臂的末端,在其一个及以上夹臂末端可以安装多个夹头,形成多夹头夹具,部分夹臂相对固定,其余夹臂可以定向移动带动夹头靠拢、接触晶片侧边缘来实施夹取操作;该发明中仅需三个夹头作用在晶片上便可以达到夹具的作用,降低了对夹头的控制精确度的要求以及夹持晶片的操控难度。
根据公开号为CN103094175A的中国发明文献公开的一种晶片专用三夹头夹具,该发明包含有夹臂、三个夹头,夹臂末端设有夹头,其中一个夹臂上安装1或2个夹头,夹具设有3条或2条夹臂,各夹臂间相互连接,夹臂间相互连接处在夹臂中部或夹臂首端;通过夹头与夹臂的巧妙组合,避免夹头与晶片正面的直接接触,从而减少晶面的接触源并避免了夹头直接施力于晶面易导致晶面被划伤、污染等问题。
根据公开号为CN103094174B的中国发明文献公开的一种操作简单的晶片夹具,该发明包含有2个及以上的夹臂和夹头,夹臂之间相互连接形成连接端,夹臂另一端的自由端安装衔接有夹头,其中一个夹臂上安装一个以上夹头,夹臂中一些夹臂在夹取操作中其位置相对固定不变,为固定夹臂,另外的夹臂则相对于固定夹臂其位置在变动,为运动夹臂;运动夹臂带动夹头向固定夹臂移动,固定夹臂在夹具的夹取中起到定位作用。本发明操作简单容易,提高设备定位精度,简化设备控制系统的复杂程度,进而降低成本。
由于晶片本身具有的薄、脆,容易受损的特性,通过操作人员双手佩戴手套取晶片,容易对晶片造成损伤以及手套上带有灰尘对晶片表面造成污染,影响后续的使用;另外,采用镊子夹取晶片过程中,镊子与晶片的接触面很小,非常容易破坏晶片;还有上述对比文件中所述的夹具,都采用双手施加压力夹取晶片的方式,操作人员需要精准控制施加的力量,极大的增加了操作难度。因此设计一种简单易操作的晶片夹具非常有必要。
【实用新型内容】
针对上述对比文件中通过双手对夹具施加压力来夹取晶片操作难度大的问题,本实用新型通过将夹块设置为弹性设置,夹块作用在晶片的侧面,不会破坏晶片的表面,通过夹块受到的复位作用来实现晶片的夹取,解放了工作人员的双手,同时其中有夹块呈可转动设置,夹取不同形状晶片,扩大了该夹具的适用范围。
为了达到上述目的,本实用新型采用了以下方案:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造