[实用新型]一种安全性高的数控真空镀膜机

说明书

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，尤其是一种安全性高的数控真空镀膜机，包括主机壳和连接轴，所述主机壳等距离固定设有多个U形固定块，所述U形固定块转动设有连接座，多个所述连接座固定设有主机门，所述主机壳固定设有支撑台，所述支撑台固定设有四个支撑柱，所述支撑柱均套接设有支撑套筒，所述支撑套筒均固定设有底座，两个所述底座之间固定设有固定底板，所述支撑台的下表面对称设有减震装置。本实用新型在普通注真空镀膜机的基础上，增加了减震和驱动装置，提高了便捷性和安全性，具有广阔的市场前景，适合推广。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，尤其涉及一种安全性高的数控真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。真空镀膜机中存在许多安全隐患，在生产过程中需要重视这些安全隐患。其中，镀膜机在使用时一般是直接固定在地面上，当产生的震动较大时会造成成品合格率下降，并且损坏镀膜室及其内部件，轻则机器部件损坏，重则危及人身财产安全，同时目前大多数的镀膜机都是通过人工控制，增加了劳动强度，降低了工作效率，针对以上的不足，我们推出一种安全性高的数控真空镀膜机，来代替旧式的镀膜机，满足人们的工作需求。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在安全系数低，效率低的缺点，而提出的一种安全性高的数控真空镀膜机。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

设计一种安全性高的数控真空镀膜机，包括主机壳和连接轴，所述主机壳的一侧等距离固定连接设有多个U形固定块，所述U形固定块的内壁均通过连接轴转动连接设有连接座，所述连接轴与所述主机壳之间设有使其产生位移的控制装置，所述控制装置包括步进电机，所述步进电机与所述主机壳固定连接，所述步进电机的输出轴固定设有转盘，所述转盘的上表面对称通过转轴转动连接设有连接杆，两个所述连接杆远离所述转盘的一端转动连接设有菱形块，所述菱形块与所述连接轴固定连接，多个所述连接座的一侧固定设有主机门，所述主机壳的下表面固定设有支撑台，所述支撑台的下表面固定设有四个支撑柱，所述支撑柱的表面均套接设有支撑套筒，所述支撑套筒的下表面均固定设有底座，所述底座与所述支撑柱之间设有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧位于所述支撑套筒内部，两个所述底座之间固定设有固定底板，所述固定底板通过螺栓与地面固定连接，所述支撑台的下表面对称设有减震装置，所述减震装置包括两个固定座，两个所述固定座与所述支撑台固定连接，所述固定座均转动连接设有减震柱，所述减震柱远离所述固定座的一端均转动连接设有缓冲座，两个所述缓冲座套接设有固定轴，所述固定轴的两端分别于所述支撑套筒固定连接，所述固定轴的表面套接设有第一弹簧，所述第一弹簧位于两个所述缓冲座之间，所述固定轴的表面对称套接设有第二弹簧，所述第二弹簧分别位于所述缓冲座与所述支撑套筒之间。

优选的，所述主机壳的一侧固定设有控制器。

优选的，所述支撑台的下表面固定设有控制单元。

优选的，所述主机门的一侧固定设有电磁控制阀。

本实用新型提出的一种安全性高的数控真空镀膜机，有益效果在于：本实用新型结构简单，通过设置控制器和控制单元使本实用新型更具数字换、现代化，通过设置控制装置可以控制主机门的自动开合，通过支撑柱、支撑套筒、底座、缓冲弹簧和减震装置之间的相互配合可以有效的降低机器在工作中产生的震动，有利于对工件的保护作用，通过设置固定底板可以使本实用新型更加牢固的固定在地面。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种安全性高的数控真空镀膜机的主视图；

图2为本实用新型提出的一种安全性高的数控真空镀膜机的侧视图；

图3为本实用新型提出的一种安全性高的数控真空镀膜机的局部剖视图。