[实用新型]光波导元件及光调制器

说明书

本实用新型提供一种光波导元件及光调制器，能够使信号电极的宽度增大并抑制信号电极实质上接近光波导或接地电极的情况，实现宽带及低损失的特性的提高和小型化。光波导元件(10)具备：具有光波导(30)的基板(11)；和向在光波导中传播的光波施加调制信号的信号电极(50)及接地电极(60)，光波导具有光调制部(36)，该光调制部具有并行的一对直线光波导(33a、33b)，信号电极具有配置在直线光波导之间的带状的电极主体部。电极主体部的宽度为20μm以上，在将电极主体部的宽度设为Ws、将设置在电极主体部与基板之间的衬底层中的第一金属层的宽度设为W1、将第二金属层的宽度设为W2的情况下，Ws≥W1W2。

技术领域

本实用新型涉及光波导元件及具备光波导元件的光调制器。

背景技术

近年来，作为能实现宽带且低损失的光调制特性的光波导元件，多使用在由铌酸锂(LiNbO₃)等具有电光效应的结晶构成的基板上设有光波导及控制电极的光波导元件。控制电极具有信号电极和接地电极，通过信号电极与接地电极的协作将高频的电场作为调制信号向在基板内的光波导中传播的光波施加。

上述的由铌酸锂(LiNbO₃)等具有电光效应的结晶构成的基板根据制造时的相对于结晶方位的切割的方向而主要被分类为Z切割型和X 切割型。在此，已知有在Z切割型的基板的情况下，光波导配置在信号电极及接地电极的正下方，在X切割型的基板的情况下，光波导配置在相当于信号电极与接地电极之间的位置的结构(例如，专利文献1 等)。这样的各电极与光波导的位置关系用于使沿结晶的Z轴方向在电力线通过的部分使施加电场最有效地作用于光波导。而且，专利文献1 记载有信号电极的宽度为与光波导的宽度相同程度的10μm左右的情况。

另一方面，已知有在基板的表面形成有从基板侧按照Cr、Ni、Au 的顺序层叠的由3层构成的衬底层，在该衬底层的表面形成有与衬底层相同的宽度的由Au形成的电极的光调制器的电极结构(例如，专利文献2等)。

【在先技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本特开平10-133158号公报

【专利文献2】日本特开2000-275588号公报

实用新型内容

【实用新型要解决的课题】

然而，近年来的光调制器除了被要求在能够进行进一步的高速、大容量的光通信的基础上实现进一步的宽带及低损失的情况之外，还被要求小型化。因此，在光波导元件中，增大信号电极的宽度而扩宽截面积有助于宽带化，而且，缩窄信号电极与接地电极之间的间隔的情况能够实现小型化。

然而，专利文献1公开那样的基板为X切割型，在将光波导夹于之间地配置的电极中适用专利文献2公开那样的电极的情况下，如果使信号电极的宽度增大，则衬底层接近光波导。金属在光的波长的区域中表现作为具有复折射率的物质，因此如果由金属构成的衬底层接近光波导，则在光波导中传播的光被衬底层吸收，产生导致光损失的问题。

因此，本实用新型目的在于提供一种能够使信号电极的宽度增大并抑制信号电极实质上接近光波导或接地电极的情况，结果是能实现宽带及低损失的特性的提高和小型化的光波导元件及具备光波导元件的光调制器。

【用于解决课题的方案】