[实用新型]一种用于光刻胶生产的混合设备

说明书

本实用新型提供一种用于光刻胶生产的混合设备，包括罐体以及安装在罐体上的搅拌装置，罐体为柱状密封结构且罐体上下两端为弧形状，罐体下端分布有用于支撑的支脚，罐体侧端安装有显示操作的控制器，原液通过加液管道输送至罐体上端的加液管口进入内腔并通过放料口排出混合液，泄压阀连接气管排出高压气体，装置管路连接方便简单；搅拌装置通过搅拌杆、搅拌叶和刮板对内腔内液体进行混合搅拌，保证搅拌均匀；调温管道通过调温水进口和调温水出口与外界水管连接，通过供应冷水或热水调节内腔内温度。

技术领域

本实用新型涉及光刻胶生产设备技术领域，具体为一种用于光刻胶生产的混合设备。

背景技术

光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展，更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用。

光刻胶是由光引发剂、树脂、活性稀释剂和其它助剂组成，生产过程中需要混合搅拌形成混合液，现有的混合罐存在搅拌不够充分、管路对接不够方便等问题。

实用新型内容

本实用新型所解决的技术问题在于提供一种用于光刻胶生产的混合设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

本实用新型所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种用于光刻胶生产的混合设备，包括罐体以及安装在罐体上的搅拌装置，罐体为柱状密封结构且罐体上下两端为弧形状，罐体下端分布有用于支撑的支脚，罐体侧端安装有显示操作的控制器；罐体外端为多层结构构成的壳体，罐体内端为用于溶液混合的内腔，所述搅拌装置安装在罐体上端并搅拌内腔内的溶液，搅拌装置包括搅拌电机、搅拌杆和搅拌叶，搅拌电机固定安装在罐体上端中间并传动连接搅拌杆在内腔内转动搅拌，搅拌杆上安装有用于搅拌的搅拌叶，所述罐体上端位于搅拌电机侧端设有若干加液管口和压力表以及观察内部情况的视镜，罐体的下端设有输送混合液出来的放料口；罐体的壳体内置有调温管道，调温管道分别与调温水进口和调温水出口连通。

优选的，所述搅拌杆为六边形结构，搅拌杆对应内侧壳体设有刮板，刮板安装在搅拌杆外端并伴随搅拌刮擦壳体，防止原液附着在壳体上导致搅拌混合不均匀。

优选的，所述刮板为转动安装在搅拌杆的外端，刮板与搅拌杆铰链连接内设有复位弹簧，刮板与壳体为弹性接触。

优选的，所述壳体包括外不锈钢层、保温层和内不锈钢层以及喷涂于内不锈钢层上的PTFE层，PTFE层提高罐体耐有机酸碱的能力。

优选的，所述调温水进口位于罐体下端，调温水出口位于罐体侧端，调温管道为螺旋盘绕结构。

优选的，所述调温管道位于保温层且贴于内不休钢层的外端。

优选的，所述若干加液管口与对应的加液管道连接，加液管道将各种原液输送进入内腔进行混合搅拌。

优选的，所述罐体上端靠近视镜一侧设有泄压阀，泄压阀与外端泄气管连接输送走气体，防止内腔高压。

优选的，所述内腔内设有温度传感器检测温度。

优选的，所述温度传感器、压力表、泄压阀和搅拌电机与控制器电性连接，控制罐体的搅拌转速、温度和气压。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：原液通过加液管道输送至罐体上端的加液管口进入内腔并通过放料口排出混合液，泄压阀连接气管排出高压气体，装置管路连接方便简单；搅拌装置通过搅拌杆、搅拌叶和刮板对内腔内液体进行混合搅拌，保证搅拌均匀；调温管道通过调温水进口和调温水出口与外界水管连接，通过供应冷水或热水调节内腔内温度。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式