[实用新型]一种用于光刻胶生产的混合设备有效
| 申请号: | 201921368642.1 | 申请日: | 2019-08-22 |
| 公开(公告)号: | CN210496093U | 公开(公告)日: | 2020-05-12 |
| 发明(设计)人: | 周国波;陈武档;赖艺珠;梁荣增;宋里千 | 申请(专利权)人: | 福建泓光半导体材料有限公司 |
| 主分类号: | B01F7/18 | 分类号: | B01F7/18;B01F7/32;B01F15/00;B01F15/06 |
| 代理公司: | 北京立成智业专利代理事务所(普通合伙) 11310 | 代理人: | 张江涵 |
| 地址: | 363000 福建省漳*** | 国省代码: | 福建;35 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 用于 光刻 生产 混合 设备 | ||
1.一种用于光刻胶生产的混合设备,包括罐体以及安装在罐体上的搅拌装置,罐体为柱状密封结构且罐体上下两端为弧形状,罐体下端分布有用于支撑的支脚,罐体侧端安装有显示操作的控制器,其特征在于:罐体外端为多层结构构成的壳体,罐体内端为用于溶液混合的内腔,所述搅拌装置安装在罐体上端并搅拌内腔内的溶液,搅拌装置包括搅拌电机、搅拌杆和搅拌叶,搅拌电机固定安装在罐体上端中间并传动连接搅拌杆在内腔内转动搅拌,搅拌杆上安装有用于搅拌的搅拌叶,所述罐体上端位于搅拌电机侧端设有若干加液管口和压力表以及观察内部情况的视镜,罐体的下端设有输送混合液出来的放料口;罐体的壳体内置有调温管道,调温管道分别与调温水进口和调温水出口连通。
2.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶生产的混合设备,其特征在于:所述搅拌杆为六边形结构,搅拌杆对应内侧壳体设有刮板,刮板安装在搅拌杆外端并伴随搅拌刮擦壳体。
3.根据权利要求2所述的一种用于光刻胶生产的混合设备,其特征在于:所述刮板为转动安装在搅拌杆的外端,刮板与搅拌杆铰链连接内设有复位弹簧,刮板与壳体为弹性接触。
4.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶生产的混合设备,其特征在于:所述壳体包括外不锈钢层、保温层和内不锈钢层以及喷涂于内不锈钢层上的PTFE层。
5.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶生产的混合设备,其特征在于:所述调温水进口位于罐体下端,调温水出口位于罐体侧端,调温管道为螺旋盘绕结构。
6.根据权利要求4所述的一种用于光刻胶生产的混合设备,其特征在于:所述调温管道位于保温层且贴于内不休钢层的外端。
7.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶生产的混合设备,其特征在于:所述若干加液管口与对应的加液管道连接,加液管道将各种原液输送进入内腔进行混合搅拌。
8.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶生产的混合设备,其特征在于:所述罐体上端靠近视镜一侧设有泄压阀,泄压阀与外端泄气管连接输送走气体。
9.根据权利要求8所述的一种用于光刻胶生产的混合设备,其特征在于:所述内腔内设有温度传感器检测温度。
10.根据权利要求9所述的一种用于光刻胶生产的混合设备,其特征在于:所述温度传感器、压力表、泄压阀和搅拌电机与控制器电性连接,控制罐体的搅拌转速、温度和气压。
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