[实用新型]一种旋转靶绑定内管壁预处理的加工设备

权利要求书

1.一种旋转靶绑定内管壁预处理的加工设备，包括机架(18)，其特征在于：机架(18)安装有倾斜平台(78)，机架(18)的一侧设置有液体收集箱(19)，倾斜平台(78)的中部设置有旋转固定部(75)，旋转固定部(75)包括外固定部(76)和内旋转部(77)，外固定部(76)安装于倾斜平台(78)，内旋转部(77)滑动连接于外固定部(76)内腔中，

倾斜平台(78)安装有电刷镀处理装置和固定支架(83)，固定支架(83)分别安装在倾斜平台(78)的两端，电刷镀处理装置包括刷头(93)、绝缘伸缩杆(84)和刷镀滑轨(82)，刷头(93)滑动安装于刷镀滑轨(82)，刷镀滑轨(82)的两端分别安装于固定支架(83)，绝缘伸缩杆(84)的一端连接于刷头(93)，绝缘伸缩杆(84)的另一端连接于固定支架(83)。

2.根据权利要求1所述的一种旋转靶绑定内管壁预处理的加工设备，其特征在于：所述机架(18)内设置有升降驱动机构(79)，升降驱动机构(79)驱动连接所述倾斜平台(78)的一端，倾斜平台(78)的另一端铰接于机架(18)，所述液体收集箱(19)位于铰接有倾斜平台(78)的机架(18)一侧。

3.根据权利要求2所述的一种旋转靶绑定内管壁预处理的加工设备，其特征在于：所述外固定部(76)固定安装于所述倾斜平台(78)的顶面，用于固定靶材管(12)的所述内旋转部(77)沿所述加工设备的长度方向为中空设置，所述旋转固定部(75)包括旋转驱动装置，旋转驱动装置驱动连接内旋转部(77)，内旋转部(77)相对外固定部(76)旋转。

4.根据权利要求3所述的一种旋转靶绑定内管壁预处理的加工设备，其特征在于：所述电刷镀处理装置包括直流电源、用于输送电刷镀液的电刷镀输液管(90)和至少两个用于连接在所述靶材管(12)外壁的阴极连接部(91)，

所述刷头(93)设置有阳极连接管(92)，阳极连接管(92)的一端连接于刷头(93)，阳极连接管(92)的另一端连接直流电源的正极(80)，电刷镀输液管(90)的一端固定于刷头(93)，电刷镀输液管(90)的另一端插入电刷镀液，

阴极连接部(91)与靶材管(12)同轴安装，阴极连接部(91)设置有数量与阴极连接部(91)数量相等的负极连接管，各负极连接管的一端与分别一阴极连接部(91)，各负极连接管的另一端分别连接直流电源的负极(81)。

5.根据权利要求4所述的一种旋转靶绑定内管壁预处理的加工设备，其特征在于：相邻的所述阴极连接部(91)之间的距离设置在50cm-100cm，各阴极连接部(91)间隔相等地设置于所述靶材管(12)的外壁，阴极连接部(91)围绕于所述靶材管(12)的外壁。

6.根据权利要求5所述的一种旋转靶绑定内管壁预处理的加工设备，其特征在于：所述刷头(93)包括刷镀头(94)、固定座(110)和阳极连接部(112)，阳极连接部(112)安装于固定座(110)的中部，刷镀头(94)安装于阳极连接部(112)。

7.根据权利要求6所述的一种旋转靶绑定内管壁预处理的加工设备，其特征在于：所述刷镀头(94)的外侧形状与所述靶材管(12)的内侧形状相匹配，刷镀头(94)的一侧开设有镀头固定孔(95)，镀头固定孔(95)插装于所述阳极连接部(112)，

所述固定座(110)为中空，固定座(110)的侧面开设有阳极连接通孔(111)，阳极连接部(112)安装于固定座(110)的中空位置，阳极连接部(112)的侧面设置有固定孔(113)，固定孔(113)与阳极连接通孔(111)对应连接，

阳极连接部(112)的下端凸出设置有一镀头安装部(114)，镀头固定孔(95)安装于镀头安装部(114)，阳极连接部(112)的上端向内凹陷形成阳极安装部(115)，阳极安装部(115)与所述阳极连接管(92)的一端连接，

所述刷头(93)的外周包覆有镀液擦拭部(96)，刷镀头(94)被包裹于镀液擦拭部(96)内，所述电刷镀输液管(90)插入至镀液擦拭部(96)的包裹范围内。