[实用新型]一种柔性自动接丝装置用柔性夹持器及柔性夹持器单元

权利要求书

1.一种柔性自动接丝装置用柔性夹持器，其特征在于，包括一中空的壳体，壳体内设有立体环状且中部有通孔、用来夹住半导体材料细丝的软囊，对应软囊通孔的位置且半导体材料细丝需要穿过的壳体表面设有匹配的圆孔。

2.根据权利要求1所述柔性自动接丝装置用柔性夹持器，其特征在于，所述软囊通过一管路接口与用于为软囊内提供压力的一内容物供应装置相连。

3.根据权利要求2所述柔性自动接丝装置用柔性夹持器，其特征在于，所述壳体上对应管路接口的位置设有管道通孔。

4.根据权利要求3所述柔性自动接丝装置用柔性夹持器，其特征在于，所述软囊选用高弹柔性材料。

5.根据权利要求1-4任一所述柔性自动接丝装置用柔性夹持器，其特征在于，所述软囊与半导体材料细丝接触的表面设有用来实时监测软囊内压力的压力传感器。

6.一种柔性自动接丝装置用柔性夹持器单元，其特征在于，包括至少两个权利要求1-5任一所述柔性自动接丝装置用柔性夹持器，且两个柔性夹持器软囊通孔的圆心位于一条直线上。

7.根据权利要求6所述柔性自动接丝装置用柔性夹持器单元，其特征在于，其中所述柔性夹持器上、下设置在一条直线上。

8.根据权利要求7所述柔性自动接丝装置用柔性夹持器单元，其特征在于，位于上方的所述柔性夹持器的壳体顶面和底面对应软囊通孔的位置均设有用于半导体材料细丝穿过的圆孔。

9.根据权利要求8所述柔性自动接丝装置用柔性夹持器单元，其特征在于，位于最底部的所述柔性夹持器的壳体顶面对应软囊通孔的位置设有用于半导体材料细丝穿过的圆孔，底面设有软垫。

10.根据权利要求9所述柔性自动接丝装置用柔性夹持器单元，其特征在于，所述软垫为硅胶制成的柔性垫。