[实用新型]一种柔性自动接丝装置

权利要求书

1.一种柔性自动接丝装置，其特征在于，包括一根支撑立柱，在支撑立柱的上、下两端对称设置转盘状的柔性夹持器总成，两个柔性夹持器总成上数量和位置一一对应地设有若干柔性夹持器；

所述柔性夹持器包括一中空的壳体，壳体内设有立体环状的软囊，软囊中部有通孔，对应软囊通孔的位置且半导体材料细丝需要穿过的壳体表面设有圆孔。

2.根据权利要求1所述柔性自动接丝装置，其特征在于，所述软囊设有用于向软囊内提供压力的管路接口。

3.根据权利要求2所述柔性自动接丝装置，其特征在于，所述壳体上对应管路接口的位置设有管道通孔。

4.根据权利要求3所述柔性自动接丝装置，其特征在于，位于支撑立柱上端柔性夹持器总成中所述柔性夹持器的壳体顶面和底面对应软囊通孔的位置均设有用于半导体材料细丝穿过的圆孔。

5.根据权利要求4所述柔性自动接丝装置，其特征在于，位于支撑立柱下端柔性夹持器总成中所述柔性夹持器的壳体顶面对应软囊通孔的位置设有用于半导体材料细丝穿过的圆孔，底面设有用于半导体材料细丝柔性着陆和柔性接触的软垫。

6.根据权利要求5所述柔性自动接丝装置，其特征在于，所述柔性夹持器总成上相邻的每两个柔性夹持器之间均设有一段气管，气管和柔性夹持器依次间隔连接，共同形成一个环路；所述柔性夹持器总成上还设有用来将所述环路固定在支撑立柱的外周辐条支架，辐条支架套装在支撑立柱上并通过定位螺钉固定在支撑立柱的端部。

7.根据权利要求6所述柔性自动接丝装置，其特征在于，所述气管内部中空，每段气管均从壳体的一个侧面穿入与该壳体内的软囊相连通而形成密闭的回路，该回路上至少一管路接口与一内容物供应装置连通。

8.根据权利要求1-7任一所述柔性自动接丝装置，其特征在于，所述支撑立柱的底部设有转动台。

9.根据权利要求8所述柔性自动接丝装置，其特征在于，所述支撑立柱顶部设有用来转移所述柔性自动接丝装置的换取把柄。

10.根据权利要求9所述柔性自动接丝装置，其特征在于，所述软囊与半导体材料细丝接触的表面设有用来实时监测软囊内压力的压力传感器。