[实用新型]玻璃磁控溅射镀膜线下片台制动对齐装置有效

专利信息
申请号: 201921328954.X 申请日: 2019-08-16
公开(公告)号: CN210420142U 公开(公告)日: 2020-04-28
发明(设计)人: 王伟健;黄海青;程海波;张波;孙晓彬;程国送;苏良涛;马宏伟;张文兵;徐一鸣;李猛 申请(专利权)人: 蚌埠兴科玻璃有限公司
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/22
代理公司: 合肥律通专利代理事务所(普通合伙) 34140 代理人: 吴奇
地址: 233000 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 玻璃 磁控溅射 镀膜 下片 制动 对齐 装置
【权利要求书】:

1.玻璃磁控溅射镀膜线下片台制动对齐装置,包括导轨(1),所述导轨(1)的顶部滑动连接有两个对称设置的对齐机构(2),其特征在于:所述对齐机构(2)包括滑动连接于导轨(1)顶部的行走底座(3),行走底座(3)的顶部固定有气缸(4),气缸(4)的顶部固定有活动板(5),活动板(5)的顶部固定有挡板(6),挡板(6)的边缘处转动连接有连接板(7),连接板(7)远离挡板(6)的一侧壁上固定有夹板(8),夹板(8)的侧壁上设有置物槽(9),置物槽(9)内壁上胶合有缓冲垫。

2.根据权利要求1所述的玻璃磁控溅射镀膜线下片台制动对齐装置,其特征在于:所述挡板(6)的顶部边缘处贯穿有与其转动连接的转动杆(11),挡板(6)上安装有与转动杆(11)连接的驱动电机,连接板(7)远离夹板(8)的一端与转动杆(11)固定。

3.根据权利要求1所述的玻璃磁控溅射镀膜线下片台制动对齐装置,其特征在于:一个所述对齐机构(2)中夹板(8)的边缘处固定有测距仪(10),测距仪(10)检测端口处所处竖直平面与置物槽(9)竖直内壁所处的竖直平面重合,另一个所述对齐机构(2)中的夹板(8)边缘处固定有定位板(12),测距仪(10)和定位板(12)位于同一水平面内。

4.根据权利要求1所述的玻璃磁控溅射镀膜线下片台制动对齐装置,其特征在于:所述导轨(1)的顶部设有螺纹槽(13),行走底座(3)的顶部设有螺纹孔,螺纹孔内设有紧固螺栓,紧固螺栓的底部穿过螺纹孔并螺纹连接于螺纹槽(13)内。

5.根据权利要求4所述的玻璃磁控溅射镀膜线下片台制动对齐装置,其特征在于:所述螺纹槽(13)的数量为偶数个,多个所述螺纹槽(13)沿导轨(1)长度方向等距离设置于导轨(1)顶部。

6.根据权利要求1所述的玻璃磁控溅射镀膜线下片台制动对齐装置,其特征在于:所述行走底座(3)上固定有导向杆,活动板(5)和导向杆滑动连接。

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